建设项目基本情况-西青区政务服务专栏.docVIP

建设项目基本情况 项目名称 中芯国际集成电路制造有限公司有机废气治理项目 建设单位 中芯国际集成电路制造有限公司 法人代表 联系人 通讯地址 联系电话 传 真 邮政编码 建设地点 立项审批部门 批准文号 津西审投[2015] 304号 建设性质 行业类别 及代码 7722 占地面积 (平方米) 绿化面积 (平方米) 总投资 (万元) 其中：环保投资（万元） 环保投资占总投资比例 评价经费 (万元) 预期投产日期 工程内容及规模： 1、项目背景及概况 中芯国际集成电路制造有限公司（Semiconductor Manfacturing International Corp；以下简称“中芯国际”）是一家以集成电路代工为投资服务的国际化公司，其公司总部位于中国上海，其企业投资主体为海外华人以及美国和日本公司。企业主要经营半导体（硅片及各类化合物半导体）集成电路芯片制造、针测及测试，与集成电路有关的开发设计服务、技术服务、光掩膜制造、测试封装，并销售产品。 中芯国际于2003年在天津设立中芯国际集成电路制造（天津）有限公司（以下简称“中芯国际天津厂”），并通过资产并购方式受让摩托罗拉（中国）电子有限公司位于天津市西青经济技术开发区的芯片厂，并通过增加投资达到扩大芯片生产能力、完善和增容部分动力、环保安全等设施的目的。目前中芯国际天津厂已经形成月产30000片8英寸硅片，0.35~0.13微米的开放式集成电路芯片加工能力，该项目于2007年1月通过了项目竣工环境保护验收。2008年，中芯国际原计划投资1亿元人民币，通过增加关键机台设备的方式新增月产10000片8英寸芯片的生产能力，该项目于 2009年1月获得天津市环保局的批复，由于产品市场原因一直未能实施。，中芯国际天津厂投资9990万美元，进行中芯国际集成电路（天津）Fab7 扩建项目工程的建设建成后，中芯国际天津厂的芯片生产能力将从月产30000片扩大为月产55000片 目前，工艺所排放的VOCs主要来自的清洗通过集气装置收集，再通过密闭输送管道进入有机废气总管，m高排气筒排放响应国家环保，降低VOCs的排放量，企业自身情况，中芯国际960万元对生产车间内并收集的有机废气处理，拟安装燃烧处理VOC的处理系统，对现有排气筒进行改造使其成为一套的收集、处理、排放系统，以满足相关环保要求已西青区行政审批局（审投）2、工程内容 根据建设单位提供的相关资料，本项目车间安装一套尾气装置处理系统，采用浓缩转轮+旋转阀蓄热式氧化原有两根排放VOC来自芯片刻蚀、涂胶、烘干工序时有机溶剂挥发m高排气筒连接合并成一个排气筒，作为改造后VOC的排放口，同时安装在线监测系统一套。本改造项目总用地面积200m2。 (Rotary RegenerativeThermal Oxidizer System)(以下简称RRTO)处理流程，能够高效率处理污染物，并且达到最大的节能效果，使燃料消耗最小化。 涂布20倍，然后由旋转阀蓄热式氧化炉将浓缩过后的废气热氧化为二氧化碳与水。燃烧过后的干净气体与经过转轮吸附后的干净气体结合后，经由一只排气筒排出。按照相关设计参数，转轮部分去除效率达到%，旋转阀蓄热式氧化炉部分去除效率达到%，综合去除效率约%。3、设备 本项目主要设备包括转轮、旋转阀蓄热式氧化炉燃烧机和热氧化室、风机等。设备情况详见表1。 表1 主要生产设备一览表 序号 设备名称 数量 单位 备注 1 1 套 浓缩倍率20倍，西部技研UZCⅡ-4250V40 2 燃烧机 1 套 温度850℃，天然气 3 热氧化室 1 套 圆柱体12槽 4 二次风机 1 台 流量m3/h，75KW 5 Purge风机 补气或扫气， m3/h，3.7KW 6 助燃风机 1 台 进口流量 m3/h，2.2KW 7 脱附风机 1 台 进口流量3365 m3/hKW 8 燃烧控制盘 屋外防雨型 9 点火变压器盘 屋外型，材质SUS304 10 变频风机控制盘 屋内型，碳钢+涂装 11 风机控制盘，碳钢+涂装 4、公用工程 （1）给水 生产、生活用水由西青经济技术开发区市政供水管网提供，由供水管道引入1#水池和8000m3水罐中暂存，再分别引入中央动力站和各用水点供纯水制备和生产、生活使用。（2）排水 全厂污水、雨水系统实行分流制，分别进入各自独立的排水系统。 雨水排入西青经济技术开发区市政雨水管网，通过雨水泵站进入大沽排污河。生产废水、生活污水等经厂内污水处理系统处理达标后排入西青经济技术开发区污水管网，最终进入西青区大寺污水处理厂。新增废水。（3）供电 中芯国际的西南角现有一座110kV变电站，为厂区供电使用。中央动力站内有3台1400KVA应急柴油发电机，出现区域停电的