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数字驱动系统死区效应的双刷新补偿-光学精密工程
第 卷 第 期 光学 精密工程
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年 月 旔 旂 旂
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文章编号 棬 棭
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数字驱动系统死区效应的双刷新补偿
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哈尔滨工业大学 超精密光电仪器工程研究所 黑龙江 哈尔滨 棻椀棸棸椄棸
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摘要 针对死区效应会导致永磁同步直线电机相电流失真 推力波动 从而限制其在精密气浮工作台等高精度 低频轻载
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场合应用的问题 提出了一种根据相电流极性改变驱动器输入信号脉冲宽度来补偿死区效应的方法 双刷新补偿法
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斈斦斈斣斆 首先 分析了死区效应引起的驱动器输出信号脉冲宽度变化 给出了脉宽调制 斝斪斖 信号上升沿和下降
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沿的补偿与相电流极性间的关系 然后 在 斖斸旚旍斸斺斢旈旐旛旍旈旑旊中对死区效应的影响和双刷新补偿法的作用进行仿真 最
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后 在直线气浮工作台系统中实现了双刷新补偿法 实验显示 该方法相位延迟仅 棸棶椀个伺服周期 在电机速度开环和
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闭环下均使相电流畸变减小 波形正弦化 结果表明 双刷新补偿法能有效改善直线电机电流环性能 且代码量少 移植
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性好 适用于各类数字开关驱动系统
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关 键 词 死区补偿 永磁同步直线电机 精密工作台 电流环
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中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷
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