原子力显微镜的原理以及应用(研究生研讨课).pptVIP

AFM（原子力显微镜） 报告人： 目录 一、AFM工作原理 二、仪器介绍 三、成像模式 四、应用举例 五、缺陷 1. 工作原理 ·AFM (Atomic Force Microscope)原子力显微镜 ，是以原子间力为理论基础的显微镜，从STM（扫描隧道显微镜）发展而来。以原子尺寸观察物质表面结构，金属、半导体、绝缘体等均可以观测，可以在大气、液体环境下直接观察。 ·在原子力显微镜的系统中，是利用微小探针与待测物之间交互作用力，来呈现待测物的表面物理特性。 ·将一个对力极为敏感的微悬臂的一端固定，另一端固定针尖当针尖在样品表面扫描时，因针尖尖端原子与样品表面原子存在的范德华力，使微悬臂产生微小弯曲。根据扫描样品时探针的偏移量或改变的振动频率重建三维图像，就能间接获得样品表面的形貌。 1. 工作原理 2.仪器介绍 2.仪器介绍 2.仪器介绍 1、检测系统 悬臂的偏转或振幅改变可以通过多种方法检测，包括：光反射法、光干涉法、隧道电流法、电容检测法等。目前AFM系统中常用的是激光反射检测系统，它具有简便灵敏的特点。激光反射检测系统由探针、激光发生器和光检测器组成。 2、探针 探针是AFM检测系统的关键部分．它由悬臂和悬臂末端的针尖组成．随着精细加工技术的发展，人们已经能制造出各种形状和特殊要求的探针。悬臂是由Si或Si3N4经光刻技术加工而成的．悬臂的背面镀有一层金属以达到镜面反射。在接触式AFM中V形悬臂是常见的一种类型 2.仪器介绍 商品化的悬臂一般长为100-200 μm、宽10-40μm、厚0.3-2μm，弹性系数变化范围一般在几十N·m-1到百分之几N·m-1之间，共振频率一般大于10kHz。探针末端的针尖一般呈金字塔形或圆锥形，针尖的曲率半径与AFM分辨率有直接关系．一般商品针尖的曲率半径在几纳米到几十纳米范围． V型悬臂： 它的优点是具有低的垂直反射机械力阻和高的侧向扭曲机械力阻．悬臂的弹性系数一般低于固体原于的弹性系数， 悬臂的弹性常数与形状、大小和材料有关．厚而短的悬臂具有硬度大和振动频率高的特点． 2.仪器介绍 原子力显微镜的分辨率 原子力显微镜分辨率包括侧向分辨率和垂直分辨率．图像的侧向分辨率决定于两种因素：采集图像的步宽(Step size)和针尖形状． 1. 步宽因素 原子力显微镜图像由许多点组成，其采点的形式如图3.3所示．扫描器沿着齿形路线进行扫描，计算机以一定的步宽取数据点．以每幅图像取512x 512数据点计算，扫描1μm x1μm尺寸图像得到步宽为2nm(1μm／512)高质量针尖可以提供1~2nm的分辨率．由此可知，在扫描样品尺寸超过1μm x1μm时，AFM的侧向分辨率是由采集图像的步宽决定的。 2.仪器介绍 2. 针尖因素 AFM成像实际上是针尖形状与表面形貌作用的结果，针尖的形状是影响侧向分辨率的关键因素。针尖影响AFM成像主要表现在两个方面：针尖的曲率半径和针尖侧面角，曲率半径决定最高侧向分辨率，而探针的侧面角决定最高表面比率特征的探测能力．如图所示，曲率半径越小，越能分辨精细结构． 不同曲率半径的针尖对球形物成像时的扫描路线 3.成像模式 根据原子间力与原子见距离的关系，一般AFM有三种成像模式： 接触模式 非接触模式 轻敲模式 1）. 接触模式（1986年发明） 原理：针尖和样品物理接触并在样品表面上简单移动，针尖受范德华力和毛细力的共同作用，两者的合力形成接触力，该力为排斥力，大小为10-8～10-11N，会使微悬臂弯曲。 特点：针尖与样品表面距离小，利用原子间的斥力 可获得高解析度图像 不足： 1）研究生物大分子、低弹性模量以及容易变形和移动的样品时，针尖和样品表面的排斥力会使样品原子的位置改变，甚至使样品损坏； 2）样品原子易粘附在探针上，污染针尖； 3）扫描时可能使样品发生很大的形变，甚至产生假象。 3.成像模式 （2）.非接触模式（1987年发明） 原理：针尖在样品上方(1～10nm) 振荡( 振幅一般小于10nm) ，针尖检测到的是范德华吸引力和静电力等长程力，样品不会被破坏，针尖也不会被污染，特别适合柔软物体的样品表面；然而，在室温大气环境下样品表面通常有一薄薄的水层，该水层容易导致针尖“突跳”与表面吸附在一起，造成成像困难。多数情况下，为了使针尖不吸附在样品表面，常选用一些弹性系数在20～100N/m的硅探针。 特点：由于探针与样品始终不接触，从而避免了接触模式中遇到的破坏样品和污染针尖的问题，灵敏度也比接触式高，但分辨率相对接触式较低，且非接触模式不适合在液体中成像。 3.成像模式 （3）.轻敲