基于MEMS工艺的磁芯微电感的有限元模拟相关研究.pptVIP

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2018-04-23 发布于天津
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基于MEMS工艺的磁芯微电感的有限元模拟相关研究.ppt

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基于MEMS工艺的磁芯微电感的有限元模拟相关研究.ppt

* 基于MEMS工艺的磁芯微电感的有限元模拟研究编号：L089 目录项目背景制作工艺有限元模拟项目结论 1.项目背景：在各类电子线路中，磁性器件如电感器件是电子线路中不可缺少的重要器件。当前学术界主流研究的微电感是平面线圈结构带磁芯的螺线管微电感磁路形成闭合回路以降低漏磁; 因为磁芯的存在，能获得较大的电感值。 2.制作工艺：本项目结合MEMS工艺，采用CoventorWare软件设计了一种带磁芯材料的螺线管微电感。 Si（100）衬底沉积SiO2 2μm 电子束蒸发Ti/Cu种子层 0.05μm 光刻导线下电极电镀Cu 5μm（填满槽）去胶，得到Cu下电极生长SiO2隔离层1μm 涂胶 10μm 光刻磁芯溅射并电镀磁芯10μm 去胶生长SiO2隔离层1μm 刻蚀Cu导线边孔—顶视图电镀Cu 生长SiO2 1μm 刻蚀Cu导线上部—顶视图溅射并电镀Cu上电极5μm—顶视图 *