超精密切削加工 PPT.pptVIP

超精密切削加工 超精密加工 指被加工零件的尺寸精度为0.1～0.01μm，加工表面粗糙度达Ra0.03～0.0051μm数量级的加工技术。随着加工技术的发展，超精密加工的技术指标也在不断变化。 超精密切削加工主要是用高精度的机床和单晶金刚石刀具进行的加工。一般称为金刚石刀具切削 (Simple Point Diamond Turming， SPDT)。 超精密加工的主要方法有： 1.刀具超精密切削 2.精密和镜面磨削 3.精密研磨和抛光 一.超精密切削加工简介 二.超精密切削的刀具 三.超精密加工机床 四.影响切削表面粗糙度的因素及发展趋势 一.超精密切削加工简介 1.超精密切削的历史 60年代初，由于宇航用的陀螺，计算机用的磁鼓、磁盘，光学扫描用的多面棱镜，大功率激光核聚变装置用的大直径非圆曲面镜，以及各种复杂形状的红外光用的立体镜等等，各种反射镜和多面棱镜精度要求极高，使用磨削、研磨、抛光等方法进行加工，不但加工成本很高，而且很难满足精度和表面粗糙度的要求。为此，研究、开发了使用高精度、高刚度的机床和金刚石刀具进行切削加工的方法。 超精密切削  超精密切削以SPDT技术开始，该技术以空气轴承主轴、气动滑板、高刚性、高精度工具、反馈控制和环境温度控制为支撑，可获得纳米级表面粗糙度。多采用金刚石刀具，广泛用于铜的平面和非球面光学元件、有机玻璃、塑料制品(如照相机的塑料镜片、隐形眼镜镜片等)、陶瓷及复合材料的加工等。 超精密切削技术是适应现代高科技的需要而发展起来的先进制造技术, 是高科技尖端产品开发中不可或缺的关键技术, 是一个国家制造业水平的重要标志, 也是装备现代化不可缺少的关键技术之一, 在军用和民用工业中有着十分广阔的应用前景。 经SPDT加工的光学元件成品示意图 图中所示的各种形状的零件是去氧化铜或铝合金材料 2.超精密切削加工的应用 平面镜的切削 多面镜的切削 球面镜的切削 其它零件的切削 4.提高加工精度的好处 1、提高产品的性能与质量、稳定性和可靠性； 2、促进产品的小型化； 3、增强互换性、促进自动化装配应用。 金刚石超精密切削是超精密切削技术的重要分支, 也是超精密切削技术发展最早的、 应用最为广泛的技术之一。 二. 超精密切削的刀具 1.超精密切削对刀具的要求 1) 刀具刃口锋锐度ρ 能磨得极其锋锐，刃口圆弧半径ρ极小，能实现超薄切削厚度，减小切削表面弹性恢复和表面变质层。 ρ与切削刃的加工方位有关，普通刀具5~30μm，金刚石刀具10nm； 2) 切削刃的粗糙度。切削时切削刃的粗糙度将决定加工表面的粗糙度。普通刀刃的粗糙度Ry0.3~5 μm，金刚石刀具刀刃的粗糙度Ry0.1~0.2 μm，特殊情况Ry1nm。 3) 极高的硬度、极高的耐磨性和极高的弹性模量，保证长的刀具寿命。 4) 刀刃无缺陷，足够的强度，耐崩刃性能。 5) 化学亲和性小、与工件材料的抗粘结性好、摩擦系数低，能得到极好的加工表面完整性。 2.金刚石刀具超精密切削 （1）金刚石刀具的性能特点 硬度极高。自然界最硬的材料，比硬质合金的硬度高5~6倍。 摩擦系数低。除黑色金属外，与其它物质的亲和力小。 能磨出极锋锐的刀刃。最小刃口半径1~5nm。 耐磨性好。比硬质合金高50~100倍。 导热性能好，热膨胀系数小，刀具热变形小。 不适宜切黑色金属。 很脆，避免振动。 价格昂贵，刃磨困难。 天然单晶金刚石被一致公认为理想的、不能代替的超精密切削刀具。 金刚石刀具具体选择原则 天然金刚石刀具：表面质量要求极高，表面粗糙度值在0.04μm以下。 细晶粒的复合聚晶金刚石刀具：表面粗糙度值在0.04-0.10μm。 粗晶度复合聚晶金刚石刀具:表面粗糙度值在0.4μm以上。 （2）金刚石刀具设计结构和几何要素 金刚石刀具切削刃几何形状 直线切削刃 直线切削刃比圆弧切削刃的切削阻力小,易于进行尺寸精度及表面粗糙度控制,并且制造容易，研磨方便。 其不足之处是安装调整比较困难 。 直线切削刃不能太长(一般取0.05~0.20mm)否则会增加径向切削力 圆弧切削刃 圆弧切削刃金刚石刀具对刀容易,使用方便,但刀具制造，研磨困难,价格较高 切削刃刀尖圆弧半径为r=0.5~3mm或更小 金刚石刀具是超精密切削的理想刀具,在其它加工条件具备时,金刚石刀具的刀尖几何形状和切削刃的锋利度对超精密加工有很大影响。正确地选择刀尖部分几何形状和切削刃钝圆半径是获得高质量加工表面的有力保证 。 三. 超精密加工机床1.超精密加工机床的发展概况 超精密加工机床的研制开发始于20世纪60年代。当时在美国因开发激光核聚变实验装置和红外线实验装置需要大型