灵敏度可调的光学读出非制冷热像元设计.pdfVIP

第４５卷　 第２期　 　　　　　　　　　　　　　　激 光 与 红 外 Ｖｏｌ．４５，Ｎｏ．２ 　 ２０１５年２月　　　 　 　　　　　　　　　　ＬＡＳＥＲ　＆　ＩＮＦＲＡＲＥＤ Ｆｅｂｒｕａｒｙ，２０１５ 　　文章编号：１００１５０７８（２０１５）０２０１５８０５ ·红外材料与器件 · 灵敏度可调的光学读出非制冷热像元设计 １ １ １ １ １ ２ 周玉修 ，程　融 ，刘坚强 ，曾　玮 ，孙光厚 ，李　铁 （１九江学院理学院，江西 九江３３２００５；２中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室，上海２０００５０） 摘　要：设计了一种可见光反射型光学读出非制冷热像元结构。理论分析表明热像元的热－ －１ 机械灵敏度达到００４３ｄｅｇ·Ｋ ，在热像元面积比已有报道减小７５％的情况下，热－机械灵 敏度反而提高至少７９％。通过改变弯折梁底层金膜的面积来调节热像元的灵敏度，使其可在 －６ ２ －１ －６ ２ －１ ２３６×１０ ｒａｄ·ｍ ·Ｗ 和９２１×１０ ｒａｄ·ｍ ·Ｗ 之间变化。ＡＮＳＹＳ仿真结果和理论结 果吻合较好，验证了设计的正确性。 关键词：成像系统；非制冷红外热像元；光学读出；灵敏度；响应时间 中图分类号：ＴＮ２１５　　文献标识码：Ａ　　ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１００１５０７８．２０１５．０２．００９ Ｄｅｓｉｇｎｏｆｏｐｔｉｃａｌｒｅａｄｏｕｔｕｎｃｏｏｌｅｄｔｈｅｒｍａｌｉｍａｇｉｎｇｐｉｘｅｌ ｗｉｔｈａｄｊｕｓｔａｂｌｅｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙ １ １ １ １ １ ２ ＺＨＯＵＹｕｘｉｕ，ＣＨＥＮＧＲｏｎｇ，ＬＩＵＪｉａｎｑｉａｎｇ，ＺＥＮＧＷｅｉ，ＳＵＮＧｕａｎｇｈｏｕ，ＬＩＴｉｅ （１ＤｅｐａｒｔｍｅｎｔｏｆＳｃｉｅｎｃｅ，ＪｉｕｊｉａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｊｉｕｊｉａｎｇ３３２００５，Ｃｈｉｎａ； ２ＳｔａｔｅＫｅｙｌａｂｏｒａｔｏｒｉｅｓｏｆＴｒａｎｓｄｕｃｅｒＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ＳｈａｎｇｈａｉＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍａｎｄＩｎｆｏｒｍａｔｉｏｎＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， ＣｈｉｎｅｓｅＡｃａｄｅｍｙｏｆＳｃｉｅｎｃｅｓ，Ｓｈａｎｇｈａｉ２０００５０，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｄｅｓｉｇｎｏｆｏｐｔｉｃａｌｒｅａｄｏｕｔｕｎｃｏｏｌｅｄｔｈｅｒｍａｌｉｍａｇｉｎｇｐｉｘｅｌｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄ．Ｔｈｅｔｈｅｏｒｅｔｉｃａｌａｎａｌｙｓｉｓｓｈｏｗｓ －１ ｔｈａｔ，ｔｈｅｒｍａｌｍｅｃｈａｎｉｃａｌｓｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙｒｅａｃｈｅｓ０．０４３ｄｅｇ·Ｋ ａｎｄｉｎｃｒｅａｓｅｓｂｙ７９％ ａｔｌｅａｓｔｗｈｅｎｔｈｅｐｉｘｅｌｓｉｚｅｄｅ －６ ２ －１ ｃｒｅａｓｅｄｂｙ７５％ ｃｏｍｐａｒｅｄｗｉｔｈｒｅｐｏｒｔｅｄｏｎｅｓＳｅｎｓｉｔｉｖｉｔｙｃａｎｂｅａｄｊｕｓｔｅｄｆｒｏｍ２３６×１０ ｒａｄ·ｍ ·Ｗ ｔｏ －６ ２ －１ ９２１×１０ ｒａｄ·ｍ ·Ｗ ｂｙｃｈａｎｇｉｎｇｔｈｅｓｉｚｅｏｆｔｈｅｂｏｔｔ