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附錄 4-1-2-1 期刊論文 附錄 4-1-2-1 期刊論文(2004~2006) 羅光耀 編 年度 作者,題目,發表期刊名稱,卷數,頁數 Impact 第一作者或通 號 factor 訊作者(打勾) 1 K.W.Chen , Y.L.Wang, C.P. Liu, Kevin Yang, L. Chang, K.Y. Lo, C.W. Liu, “Evaluation of Advanced Chemical Mechanical Planarization Techniques for Copper 2004 1.569 Damascene Interconnect" Thin Solid Film, 447-448, pp.531-536. 2 T.C. Wang, T.E. Hsieh, Y.L. Wang, Y.L. Wu, K.Y. Lo, C.W. Liu and K.W. Chen, “Copper surface protention with a 2004 completely enclosed copper structure for a damascene 1.569 process", Thin Solid Films, 447-448, pp.542-548. 3 K.Y. Lo*, “Study on the Rapid Thermal Annealing Process of the low-energy Arsenic and Phosphorous ion implanted Silicon by Reflective Second Harmonic 2005 1.957 √ Generation“, Journal of Physics D: Applied Physics, 38, pp.3926-3933. 4 R.C. Chang, S.Y. Chu, K.Y. Lo, S.C. Lo and Y.R. Huang, “Physical and Structural Properties of RF Magnetron 2005 Sputtered ZnO Films" Integrated Ferroelectrics, 69, 0.427 pp.43–53. 5 C.Y. Huang, C.Y. Hu, H.C. Pan and K.Y. Lo, “Electrooptical Responses of Carbon Nanotube-Doped 2005 Liquid Crystal Devices", Japanese Journal of Applid 1.096 Physics, 44, pp.8077-8081. 6 K.Y. Lo*, S.C. Lo, S.Y. Chu, R.C. Chang and C.F. Yu, “Analysis of the Growth of RF Sputtered Zn

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