微镜面大转动角度之电压回授控制.PDFVIP

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 微鏡面大轉動角度之電壓回授控制 計畫類別：個別型計畫 計畫編號：NSC91-2218-E-007-044- 執行期間：91年11月01日至92年07月31日 執行單位：國立清華大學電子工程研究所 計畫主持人：盧向成 計畫參與人員：陳永霖 報告類型：精簡報告 處理方式：本計畫可公開查詢 中 華 民 92年10月20日 國 （一）中英文摘要 本研究計畫提議運用電壓迴授的方式，來對大型光學開關中的三維微鏡面體 作大角度轉動控制，以擴大光訊號導引之範圍。計畫之背景源自於未來將建立以 波長分工為基礎的全光學網路以提昇單一光纖傳輸之總頻寬，其中大型光學開關 是所需最重要之元件之一，它負責將數千個輸入/輸出埠之任一波長訊號以微光 學鏡面作直接反射導引，以取代傳統經由光-電-光轉換之傳輸模式，達到提昇傳 輸頻寬、降低功率及成本的目的。 基於減少設計面積及操作耗能的考量，鏡面是以平行板式靜電力作驅動；經 由電容式位置感測及迴授控制，我們可克服平行板電容驅動時存在的非