光电测试技术-第2章 基本光学量测试技术(3／6) .pptVIP

第2章 基本光学量的测试技术 光电测试技术  哈尔滨工业大学 第2章 基本光学量的测试技术 * * §2-3 星点检验 * * §2-3 星点检验 1. 星点检验的理论基础 任何光学系统的作用都是为了给出一个符合要求的物体的像。光学系统的各种像差和误差都必然反映在这个像中。所以很自然地会想到，如果能直接通过物体的像来分析光学系统本身的缺陷，将是一个十分方便的方法。 由近代物理光学知道，利用满足线性和空间不变性条件的系统的线性叠加特性，可以将任何物方图样分解为许多基元图样，这些基元图样对应的像方图样是容易知道的，然后由这些基元的像方图样线性叠加得出总的像方图样。 通过考察一个点光源（即星点）经过光学系统后在像面前后不同截面上所成衍射像的光强分布，就可以定性地评定光学系统自身的像差和缺陷的影响，定性地评价光学系统成像质量，称之为星点检验法。 * * §2-3 星点检验 1. 星点检验的理论基础 位于无限远处的发光物点经过理想光学系统成像，在像平面上的光强分布已经研究得很清楚——符合物理光学中的夫朗和斐（Fraunhofer）衍射理论。 如果光学系统的光瞳是圆孔，则所形成的星点像是夫朗和斐型圆孔衍射的结果，在像平面上点光源像的强度分布可以用下式表示： * * §2-3 星点检验 1. 星点检验的理论基础 a f′ U′ θ 夫朗和斐圆孔衍射图——艾里斑 * * §2-3 星点检验 1. 星点检验的理论基础 θ I/I0 光能分配(%) 中央亮斑 0 0 1 83.78 第一暗环 1.220π=3.83 0.610λ/a 0 0 第一亮环 1.635π=5.14 0.818λ/a 0.0175 7.22 第二暗环 2.233π=7.02 1.116λ/a 0 0 第二亮环 2.679π=8.42 1.339λ/a 0.0042 2.77 第三暗环 3.238π=10.17 1.619λ/a 0 0 第三亮环 3.699π=11.62 1.849λ/a 0.0016 1.46 第四暗环 4.240π=13.32 2.120λ/a 0 0 第四亮环 4.711π=14.80 2.356λ/a 0.0008 0.86 * * §2-3 星点检验 1. 星点检验的理论基础 星点像特点： 中央是一个集中了大部分光能量的亮斑，周围围绕有一系列亮暗相间隔的圆环，并且亮环的光强度迅速降低，通常的星点检验中，除了看到中央亮斑外，往往只能看到周围一个或者两个衍射亮环; 星点像的像平面附近前后距离相同的平面上所看到的衍射图案形状也是相同的。 星点检验特点： 非常灵敏的定性检验手段 十分方便 设备简单 需要丰富的经验 实际光学系统的光瞳形状并不总是圆孔形的，有时可能是矩形或者圆环形的。 * * §2-3 星点检验 2．星点检验条件 星点检验的装置 星点检验装置示意图 光源 星点孔 平行光管物镜 被检物镜 观察显微镜 星点像 聚光镜 导轨 U′ Umax * * §2-3 星点检验 2．星点检验条件 2.1 星点孔的尺寸要求 理论上星点尺寸应该要小到是一个几何点，这当然是不可能的。星点尺寸太大将使衍射像的亮暗衍射环的对比度下降，甚至看不见衍射亮环；星点太小，亮度又小。 理论估算和实验表明，在星点检验中，星点孔的直径对于被检光学系统前节点的张角α应小于理想星点衍射图案中第一衍射暗环所对应的衍射角θ。在实际装置中，为了能清晰地看到星点衍射像，通常把α＝θ/2作为计算时所要求的星点孔直径的条件。即应有 * * §2-3 星点检验 2．星点检验条件 2.2 观察显微镜物镜数值孔径的要求 由于被测物镜的星点衍射像与它的孔径直接有关，所以在测量装置上必须保证经过被测系统的光束全部无阻挡地通过观察显微镜。 从装置图中可看出，要求观察显微镜的物镜数值孔径必须足够大。也就是观察显微镜物镜所允许的物方孔径角U必须大于被检物镜检验时的像方孔径角U′。 由于 ，而显微物镜有 。为保证有 ，通常可以根据被检物镜的相对孔径来选用显微物镜的数值孔径，如表2.4。 * * §2-3 星点检验 2．星点检验条件 2.3 观察显微镜的放大率要求 由于星点衍射像的尺寸非常小，必须借助于观察显微镜将衍射像放大。观察显微镜的放