朹華大學奈米科技論壇奈微米機電系統奈米量測與致動控制技術.pdfVIP

東華大學奈米科技論壇 奈微米機電系統 奈米量測與致動控制技術 Nanometer Measurement Actuating Control Technology 謝欣然 微機電系統實驗室 國立東華大學 電機工程學系 2003.12.13 奈微米機電系統 • 奈微米機電系統 – 公分(cm) – 奈米(nm) – 微感應(測)器 – 微致動器 – 積體電路 • 微機電系統製程 – 矽基製程(Silicon) – LIGA製程 – 電子束(E-Beam) – 微放電加工 – 化學製程 東華電機 微機電系統實驗室 奈米科技之應用 化學產品 和基