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2、气相沉积技术 是指将含有沉积元素的气相物质，通过物理或化 学的方法沉积在材料表面，形成薄膜的一种新型镀 膜技术。 根据沉积过程 的原理不同，气 相沉积技术可分 为物理气相沉积 （PVD）和化学 气相沉积（CVD） 两大类。 4.10 表面处理新技术 ① 物理气相沉积（PVD） 是指在真空条件下，用 物理的方法，使材料汽化 成原子、分子或电离成离 子，并通过气相过程，在 材料表面沉积一层薄膜的 技术。 物理沉积技术主要包括 真空蒸镀、溅射镀、离子 镀三种基本方法。 4.10 表面处理新技术 真空蒸镀：是蒸发成膜材料使其汽化或升华沉积到工件表面形成薄膜的方法。 4.10 表面处理新技术 溅射镀：在真空下通过辉光放 电来电离氩气，氩离子在电场作 用下加速轰击阴极，溅射下来的 粒子沉积到工件表面成膜的方法。 4.10 表面处理新技术 离子镀：是在真空下利用气 体放电技术，将蒸发的原子部 分电离成离子，与同时产生的 大量高能中性粒子一起沉积到 工件表面成膜的方法。 4.10 表面处理新技术 物理气相沉积具有适用的基体材料和膜层材料广 泛；工艺简单、省材料、无污染；获得的膜层膜基附着力强、膜层厚度均匀、致密、针孔少等优点。 广泛用于机械、 航空航天、电子、 光学和轻工业等 领域制备耐磨、 耐蚀、耐热、导 电、绝缘、光学、 磁性、压电、滑 润、超导等薄膜。 4.10 表面处理新技术 ② 化学气相沉积(CVD) 是指在一定温度下， 混合气体与基体表面相 互作用而在基体表面形 成金属或化合物薄膜的 方法。 例如，气态的 TiCl4 与N2和H2 在受热钢的表 面反应生成TiN ，并沉 积在钢的表面形成耐磨 抗蚀的沉积层。 4.10 表面处理新技术 由于化学气相沉积膜层具有良好的耐磨性、耐蚀性、耐热性及电学、光学等特殊性能，已被广泛用于机械制造、航空航天、交通运输、煤化工等工业领域。 4.10 表面处理新技术 3、三束表面改性技术： 是指将激光束、电子束和离子束（合称“三束”） 等具有高能量密度的能源（一般大于103 W/cm2）施 加到材料表面，使之发生物理、化学变化，以获得 特殊表面性能的技术。 4.10 表面处理新技术 由于这些束流具有极高的 能量密度，可对材料表面进 行快速加热和快速冷却，使 表层的结构和成分发生大幅 度改变（如形成微晶、纳米 晶、非晶、亚稳成分固溶体 和化合物等），从而获得所 需要的特殊性能。 束流技术还具有能量利用 率高、工件变形小、生产效 率高等特点。 4.10 表面处理新技术 ① 激光束表面改性技术 激光束能量密度高（106 W/cm2），可在短时间 内将工件表面快速加热或融化, 而心部温度基本 不变; 当激光辐射 停止后，由于散热 速度快，又会产生 “自激冷”。 激光表面改性技 术主要应用于以下 几方面: 4.10 表面处理新技术 激光表面淬火（激光相变硬化） 激光表面淬火件硬度高（比普通淬火高15～20%）、 耐磨、耐疲劳，变形极小，表面光亮。 已广泛用于发动机缸套、滚动轴承圈、机床导轨、 冷作模具等。 4.10 表面处理新技术 激光表面合金化 预先用镀膜或喷涂等技术把 所要求的合金元素涂敷到工件 表面，再用激光束照射涂敷表 面，使表面膜与基体材料表层 融合在一起并迅速凝固，从而 形成了成分与结构均不同于基 体的、具有特殊性能的合金化 表层。 已成功用于发动机阀座和活 塞环、涡轮叶片等零件的性能 和寿命的改善。 4.10 表面处理新技术 ② 电子束表面改性技术 是以在电场中高速移动的电子作为载能体，电子束的能量密度最高可达109 W/cm2。 除所使用的热 源不同外，电子 束表面改性技术 与激光束表面改 性技术的原理和 工艺基本类似。 凡激光束可进 行的处理，电子 束也都可进行。 4.10 表面处理新技术 与激光束表面改 性技术相比，电子 束表面改性技术还 具有以下特点： 由于电子束具有 更高的能量密度， 所以加热的尺寸范 围和深度更大。 设备投资较低， 操作较方便（无需象激光束处理那样在处理之前进行 “黑化”）。 因需要真空条件，故零件的尺寸受到限制。 4.10 表面处理新技术 ③ 离子注入表面改性技术 离子注入是指在真空下，将注入元素离子在几万 至几十万电子伏特电场作用下高速注入材料表面， 使材料表面层的物 理、化学和机械性 能发生变化的方法。 4.10 表面处理新技术 离子注入的特点是： 可注入任何元素，不受固溶度和热平衡的限制； 注入温度可控，不氧化、不变形； 注入层厚度可控， 注入元素分布均匀； 注入层与基体结合 牢固，无