低介电常数、温度补偿型mlcc材料介电性能研究-微电子学与固体电子学专业论文.pdf.docx

独创性声明本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得 的研究成果。尽我所知，除文中已经标明引用的内容外，本论文不包含任何其他 个人或集体已经发表或撰写过的研究成果。对本文的研究做出贡献的个人和集 体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的法律结果由本人承担。学位论文作者签名：日期：年月日学位论文版权使用授权书本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即：学校有权 保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许论文被查阅和借阅。 本人授权华中科技大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检 索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存和汇编本学位论文。保密□，在年解密后适用本授权书。本论文属于不保密□。（请在以上方框内打“√”）学位论文作者签名：指导教师签名：日期：年月日日期：年月日摘要Multi-layers Ceramic Capacitor（缩写为 MLCC）片式叠层陶瓷电容器以其优良的 性能、成熟的制作工艺、相对低的生产成本，逐渐成为电容器市场的主要产品，因 而 MLCC 材料也是近年来的研究热点。而低介电常数的微波介电材料，既能满足 MLCC 高精度、高频率的实际应用需求，又具有高品质因素(Q)、超低的串联等效电 阻(ESR)，正逐渐被市场所重视。本文应风华高科一研究课题需求，探索研制能与 Ni 电极在还原性气氛中共烧依然具有良好性能的低介电 MLCC 材料。综合考虑生产 成本与材料性能，选定 Mg2SiO4 体系陶瓷为研究对象，通过掺杂取代等一系列改性 方法，调试其各项介电性能指标，并运用 XRD、SEM、阻抗分析、铁电性能测试以 及谐振腔测试方法，探究各项试验方案对材料介电性能的影响规律，并最终制得满 足性能需求的介电陶瓷材料。1. 选取 Mg2SiO4 体系陶瓷为研究对象，采用固相法合成，通过制备工艺的改进， 例如分散剂的选取、球磨时间的设定以及配料中 Mg/Si 化学计量数之比的改变，来 抑制杂相 MgSiO3 的产生从而提高材料的介电性能。最终确定以去离子水作分散剂、 球磨 5h、Mg/Si=2.075 时，陶瓷经 1400°C 烧结后具有良好的微波介电性能：εr=7.5， Q×f =85346 GHz，τf = －60ppm/°C。2. 通过 Zn 取代 Mg 改性的方式，进一步提高陶瓷材料的介电性能，并降低烧结 温度。以(ZnxMg1-x)2SiO4 体系为研究对象，通过不同的取代比例（x=0.2、0.4、0.6、 0.8、0.9）对比试验，最终确定(Zn0.9Mg0.1)2SiO4（x=0.9）为该体系中最佳的成分比例， 经 1350°C 烧结 3h 后获得致密结构、低频介电性能：εr = 7.3， tanδ ≈ 10-5，τε ≈ 100 ppm/°C（f=1MHz）以及微波介电性能：εr=6.7, Q×f=71,955 GHz, τf =－52ppm/°C。3. 为改善(Zn0.9Mg0.1)2SiO4 陶瓷的介电常数温度特性以便更好地应用于实际电路 中，本文通过添加 Ba 取代 Zn 进行调节。添加 Ba 取代 Zn 以制备(Zn0.9-xMg0.1Bax)2SiO4（x=0.025、0.05、0.1、0.2）陶瓷，随着 Ba 的添加，体系中出现 BaZn2Si2O7 第二相， 经过一系列的性能测试，发现该相具有铁电性，(Zn0.9-xMg0.1Bax)2SiO4 陶瓷在 40°C 左 右出现居里温度点，随着 Ba 含量的增加，BaZn2Si2O7 成分逐渐增加，使得烧结温度 降低，提高介电常数，并能有效的调节介电常数温度系数τε。并且，当 x=0.05 时， 1230°C 烧 结 可 以 获 得 近 零 的 τε= –10.5 ppm/°C 以 及 较 好 的 致 密 性 和 介 电 性 能 ： ρ=4.14g/cm3 εr =9.97, tanδ=8.7×10-4 （f=1MHz）。由于该体系中元素价态稳定，在还原性气氛中烧结测试后也能获得较好的性能。制备中出现的新相 BaZn2Si2O7 具有较大的负τε值，并且价态稳定，有希望应用于 BME-MLCC 陶瓷材料需要补偿介电温度 特性情况中。而最终制备的(Zn0.85Mg0.1Ba0.05)2SiO4 陶瓷材料以其合适的性能指标，稳 定的结构以及价态，有潜力应用于 BME-MLCC 陶瓷材料中。关键词：低介电常数；介电性能；BME-MLCC；铁电性AbstractMulti-layers Ceramic Capacitor (abbreviated as MLCC) is gradually becoming the main product in Capacitor