低介微波介质陶瓷及bst基铁电陶瓷的凝胶注模制备技术及其性能分析-微电子学与固体电子学专业论文.docx

的 BSTM 陶瓷的微观结构都比较均匀。采用非水基凝胶注模工艺和干压法制备了 BSTM 陶瓷。研究了制备工艺对 BSTM 陶瓷的相组成、微观结构以及介电性能的影响。结果表明，无论采用哪种制备方法， 制备的 BSTM 陶瓷的相组成都是一样的。与干压法相比，采用非水基凝胶注模工艺制 备的 BSTM 陶瓷的微观结构更加均匀。此外，采用非水基凝胶注模工艺制备 BSTM 陶瓷不但能够改善其性能的稳定性，而且还能够在一定程度上改善其介电性能。采用水基凝胶注模工艺辅助固相反应法(AGASSM)与固相反应法(SSM)制备了 BSTM 陶瓷粉体。研究了陶瓷粉体制备方法对制备的陶瓷粉体的相组成和微观结构的 影响。随后采用干压法成型，研究了陶瓷粉体制备方法对最终制备的 BSTM 陶瓷的相 组成、微观结构以及介电性能的影响。结果表明，与 SSM 相比，采用 AGASSM 制备 的 BSTM 陶瓷粉体粒径更小(Dav = 1.00 ?m )、呈球状，而且分布更加均匀。无论采用 哪种粉体制备方法，制备的 BSTM 陶瓷粉体以及用该陶瓷粉体干压成型的 BSTM 陶 瓷的相组成都是完全一样的。与 SSM 相比，采用 AGASSM 制备的陶瓷粉体干压成型 的 BSTM 陶瓷的微观结构更加均匀。此外，采用 AGASSM 制备陶瓷粉体可以改善 BSTM 陶瓷的介电性能，并能够在一定程度上降低其烧结温度。采用改进的水基凝胶注模工艺辅助固相反应法(IAGASSM)、AGASSM 和 SSM 制 备了 BSTM 陶瓷粉体。研究了陶瓷粉体制备方法对制备的陶瓷粉体的相组成和微观结 构的影响。随后采用干压法成型，研究了陶瓷粉体制备方法对最终制备的 BSTM 陶瓷 的相组成、微观结构以及介电性能的影响。结果表明，与 SSM 和 AGASSM 相比，采 用 IAGASSM 制备的 BSTM 陶瓷粉体的粒径最小(Dav = 0.83 ?m )，而且分布最均匀。 无论采用哪种粉体制备方法，制备的 BSTM 陶瓷粉体以及用该陶瓷粉体干压成型的 BSTM 陶瓷的相组成都是完全一样的。与 SSM 和 AGASSM 相比，采用 IAGASSM 制 备的陶瓷粉体干压成型的 BSTM 陶瓷的微观结构最均匀。此外，采用 IAGASSM 制备 陶瓷粉体可以显著改善 BSTM 陶瓷的介电性能，并能够在一定程度上降低其烧结温 度。关键词：凝胶注模工艺, 微波介质陶瓷, 铁电陶瓷, 烧结特性, 固相反应法, 0.9Al2O3-0.1TiO2, ZnAl2O4, Ba0.6Sr0.4TiO3-MgOAbstractBased on studying lots of relevant research papers and the requirements of our research programs, in this dissertation, the 0.9Al2O3-0.1TiO2, 90 wt.% (0.75ZnAl2O4-0.25TiO2)-10 wt.% MgTiO3 (ZTM) low-permittivity microwave dielectric ceramics, and 45 wt% Ba0.6Sr0.4TiO3-55 wt% MgO (BSTM) ferroelectric ceramics were prepared by gelcasting. The effects of different preparation methods on the phase compositions, microstructures and relevant properties of the prepared ceramic materials were systematically investigated.Based on the simple introductions for the rheology properties of ceramic slurry and the solidification theory of acrylamide gelcasting system, the effects of pH value, dispersant and solids loading on the rheology properties of ceramic slurry and environmental temperature, initiator and catalyst contents, and monomer concentration on the solidification rate of ceramic slurry were all inves