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低损耗、高q值声表面波谐振器和低相位噪声saw振荡器-电子与通信工程专业论文.pdf
AbstractSurface acousticwaveis aelasticitywave on the solid substrate.Itsvelocity has105lowerthanlight’s.Earlyoncentury19,thetheoryofsurfaceacousticwavehasbeen exist,butitwasbeenexperimentthatusedthefigureofmetalinterdigitaltransducerin ordertoactivinganddetectingsurfaceacousticwave.ToutilizepropertyofSAWs propagating,itcanbemadeincludingdelaylines,passbandfilters,oscillatorsandpitch filters.Surface transverse wave(STW) was used the configurature of reflective metal- stripgratingbetweenthetwointerdigitaltransducers,andmadetheshearhorizotal(SH) waveonthesurfaceofthepiezoelectricsubstrate,butnottodeepin.Surfacetransverse wave has the 1.6 high frequency than Rayleigh type surfaceacoustic wave(UsingthesametechnologythefrequencyofdevicesofSTWhasabout1.6high frequency than Rayleightype surfaceacoustic wave).Thepaperintroducesthetheory,designparament,technologyandresultexpeiment ofsurfaceacousticwave(includesRayleighsurfaceacousticwaveandsurface transversewave,simpleSTW)withlowinsertionloss,highQandresearchesthehigh frequency,lowphasenoiseoscillatorwith1GHzSTWresonatorasfrequencyelement. Anddescribesmeasurementmethodandfinallyexperimantalresultofthelowphase noise surface acoustic wave oscillator.At presentthemanufactureof surface acoustic wave usethetechnologyof thefinal submicron.Aseriesofthedevicesoflowinsertionloss,highQSAWRayleighsurface acousticwaveresonatorsorSTWsthatinsertionlosshaslessthan5dB,loadquality factor(QL)ismorethan1000onthequartzpiezoelectricwithzerooffirsttemperature factor intheresearch.These difference frequencies are 60MHz, 280MHz,739MHz and 1GHz of normal frequency and at also surface acoustic wave.Using 1.25dB noise factor amplifier, careful design curcuit,good setting printed curcuit board,and using the 1GHz surface transverse wave resonator as frequency element, researchingthelowphasenoisesurfaceacousticwavewithsidebandphasenoisenear–120dBc/Hz deviating 1KHz on carrier,spurioussuppress with80dB.Theapplicationofsurfaceacousticwaveresonatorisextens
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