膜厚对四面体非晶碳薄膜机械性能和拉曼表征的影响.pdfVIP

第14卷专辑3 中国有色金属学报 2004年10月 V01．14 S3 TheChinese ofNonferrous Journal Metals 0ct． 2004 文章编号：1004—0609(2004)S3～0442一06 膜厚对四面体非晶碳薄膜机械性能和拉曼表征的影响① 韩杰才，朱嘉琦 (哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所，哈尔滨150001) 捅 要：采用过滤阴极真空电弧技术以相同的工艺条件在单晶硅衬底上制备了不同厚度的四面体非晶碳薄膜。 利用表面轮廓仪测试薄膜的厚度和应力，利用纳米压入仪测试薄膜的硬度、弹性模量和临界刮擦载荷，利用可见 光拉曼光谱表征薄膜的结构。试验结果表明：随着膜厚的增加，薄膜的应力持续降低，当膜厚超过30nm时，应 力低于5GPa；当膜厚超过300nm时，硬度和弹性模量分别接近70GPa和750GPa，十分接近体金刚石的性能指 标；随着膜