开题报告-田杰.docVIP

三江学院毕业设计（论文）开题报告 题　　目 MEMS膜残余应力的在线测量 学号姓名 杰 指导教师姓名 陈涵 一、MEMS概述 MEMS是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文缩写。它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前MEMS加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。微系统能否取得更大的突破，取决于两方面的因素：第一是在微系统理论与基础技术方面取得更大的突破性进展，使人们依靠掌握的理论和基础技术可以高效地设计制造出所需的微系统；第二是找准应用突破口，扬长避短，以特别适合系统应用的重大领域为目标进行研究，取得突破，从而带动微系统产业的发展，总的发展趋势是，微系统将使未来的信息系统功能更强、尺寸更小，价格更低目前，国际上研究的热点主要集中在功能更强的微系统方面。在空间应用方面，由于微系统有突出的优点，美国航天局（NASA）和欧洲航天局等部门已给予大量投资进行研究。用作运行参数测量的微加速度计已进行了地面辐照实验，正在进行飞行搭载实验，同时积极开展微陀螺、微推进和微喷管等微系统基础研究。在通信方面，光通信正在向有光交换功能的全光通信网络方向发展，无线通信则要求增强功能（如联网等）和减小功耗。包括美国朗讯公司在内的一些公司和大学正在研究全光通信网用的微系统及无线通信用射频微系统。在生物医学方面，国外的一些公司和大学正在研究将光、机、电、液、生化等部件集成在一起，构成一个微型芯片实验室，用于临床医学检测，为医生甚至家庭提供简单、廉价、准确和快捷的检测手段。此外，一些国家还在研究用于光显示、高密度存储、汽车、国防等微系统。虽然如此，近年来微系统的发展不如人们预期的那么快，一个原因是较多的基础问题没有得到很好解决。除了微系统是人们刚刚涉足不久的领域外，它的学科面也扩大到微尺度下的力、电、光、磁、声、原子、表面等物理学的各分支，乃至化学、生物、医学和仪器等各领域，学科交叉很强，研究难度较大。对这一微尺度领域里的科学问题，人们还缺乏系统的经验和知识，在一定程度上主要是靠试探和验证方式来积累经验，这种状况迫切需要改变。微机电系统合电压的解析表达式，用迭代法进行求解，并用数值的方法进行拟合修正，用Coventoware软件进行的模拟验证表明所得的拟合表达式具有较高的精度。由于吸合电压与梁的材料参数和几何尺寸有关，则通过改变梁的几何尺寸得到不同的吸合电压，可解得材料参数（残余应力）。另外，本文还提出一种“吸合电压在线测试系统”。测试系统由计算机，数据采集装置、应用软件、信号放大与处理电路组成，在计算机及其软件的控制下，使激励信号作用于放大电路，而测试所产生的响应信号，经处理电路回馈到计算机进行程序处理，得出所测试薄膜的吸合电压。 静电执行法关键在于公式推导应用，理论性强，测试结构简单，适用于通常的MEMS加工工艺。“吸合电压在线测试系统”精度高，测试快，可适合于工业大批量测试需求，但由于数据采集装置及计算机软件都需进行专业设计，因此实现相对麻烦。 提纲： 绪论 MEMS薄膜残余应力的测量-----测量模型（方法及公式使用） 吸合电压测量系统 残余应力的提取（方程求解） Coventoware仿真模拟及用Matlab统计说明 结论 学生签名： 年 月 日 指导教师批阅意见 该生对MEMS领域相关知识已有了比较充分的了解。明白MEMS薄膜残余应力的产生原因及对器件性能的影响，从而对在线测量的意义也有了深刻的认识。 并对国内外现有的MEMS薄膜残余应力在线测量方法有了较全面的了解，具有进一步开展该方面研究工作的基础。 对设计思路及论文写作要领有了正确可行的方案，可以继续开展论文的研究工作。 指导教师签名： 年 月 日