刘金宁激光技术和喷墨打印技术在高效晶体硅电池上的应用.pptVIP

EGING PV FOR THE WORLD 常州亿晶光电科技有限公司 Changzhou EGING Photovoltaic Technology Co.,Ltd. 亿晶光电 EGING PV 报告内容提要 引言：回顾制约晶体硅电池效率的主要因素 外因： 太阳光谱分散 只能利用能量大于带宽的光子 内因： 反射损失，量子效率损失 载流子复合损失 电极收集电流损失 激光技术和喷墨打印技术，优化电池结构，减少效率损失 激光刻槽埋栅（LGBC） 激光刻槽埋栅集合了多种提高转换效率的技术于一体：局域掺杂选择性发射极技术、高电导率化学镀电极、减少栅线遮挡、以及增加电极高宽比。 图1 激光刻槽埋栅技术的土星电池结构示意图 激光掺杂选择性发射极（LDSE） LDSE是利用激光将硅片表面瞬间熔化，使磷原子快速扩散进硅片表面，形成发射极重掺杂。然后通过在发射极位置光诱导电镀（LIP）或丝网印刷制作电极。 图2 LDSE电池结构示意图 激光烧结（LFC） 激光烧结技术，采用氮化硅或氧化硅对硅电池背面进行钝化，然后再沉积1到2微米厚的铝背场，通过激光烧结使铝背场穿透钝化层，形成铝硅合金。这种技术由于提供了良好的背表面钝化，主要是通过降低背表面复合来提高效率，更适合于超薄太阳能电池。 图3 EWT电池结构示意图 激光穿孔（EWT emitter wrap through ） 不但在电池的前面形成N型发射极区域，还在电池的背面形成交叉的梳状N型区域和P型区域，通过激光打孔，孔扩散和孔填充导电浆料，连接电池正面的N型区域和背面的N型区域。 图4 EWT电池结构示意图 激光穿孔（MWT Metallization Wrap Through ） 前面是细栅结构，主栅移到了电池的背面。通过激光穿孔，孔扩散和孔填充导电浆料，将正面的细栅和背面的主栅连接起来。 图5 MWT 电池结构示意图 激光制绒（Laser Texturing） 激光在硅片表层烧蚀密排的小孔或线条，然后通过氢氟酸和硝酸的混合溶液清除掉激光烧蚀灰烬和损伤，就会在硅片表面形成均匀密排的锥形小孔或V型沟槽。 图6 激光制绒形成蜂窝状和平行沟型槽的扫描电子显微照片 喷墨打印制作绒面 在抛光的硅片表面生长一层致密的阻挡层，然后喷墨印刷腐蚀液。通过控制印刷腐蚀液的量和喷墨印刷的形状在硅片表面腐蚀出不同的绒面结构。 图7 喷墨印刷形成的倒金字塔和V型沟状绒面结构 喷墨打印发射极电极图案 图8 根据电流分布的理想栅线设计 图9 精细的栅线设计 喷墨打印磷源发射极电池 图10 以硅墨作为磷源的工艺流程 喷墨打印的硅墨SE技术 P 硅墨 P N++ N+ 图11a 印刷硅墨 图11b 选择性扩散 图12 喷墨打印的Cougar工艺SE电池和普通电池内量子效率比较 总结 激光技术和喷墨打印技术在高效晶体硅电池上有着广泛的应用。 只有设备技术和电池工艺共同努力，才能促进高效电池的推广。 通过喷墨打机将导电浆料印刷到发射极，可以形成比传统丝网印刷技术精细的电极结构和更优越的高宽比。喷墨打印可以通过电脑程序来控制印刷电池发射极电极的图案，特别适合印刷电极图案设计试验。 * EGING PV FOR THE WORLD 常州亿晶光电科技有限公司 Changzhou EGING Photovoltaic Technology Co.,Ltd. 亿晶光电 EGING PV 通过喷墨打机将导电浆料印刷到发射极，可以形成比传统丝网印刷技术精细的电极结构和更优越的高宽比。喷墨打印可以通过电脑程序来控制印刷电池发射极电极的图案，特别适合印刷电极图案设计试验。 *