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中国电子材料行业半导体材料分会2011年会 碳－碳复合热场材料 研发应用与发展趋势 蒋建纯 湖南南方搏云新材料有限责任公司 碳－碳（C/C）复合材料是碳纤维增强碳基体复合材料的简称。增强相多半是聚丙烯腈（PAN）纤维，少量是粘胶纤维，经过预氧化、碳化制成碳纤维。碳纤维编织成为坯体，形成碳纤维骨架。基体相或者连续相是浸渍碳或者是沉积碳，或者是两者的混合物。 碳/碳复合材料是以碳纤维为增强体、炭为基体的一类先进复合材料,是可设计性很强的材料。 C/C复合材料高强、高模、密度低、热膨胀系数小、耐烧蚀、耐疲劳、化学惰性、抗热冲击、尺寸稳定性高、断裂韧性大、导电导热性高等一系列优点。C/C复合材料可设计性强，使用温度最高的热结构材料，耐高温结构—功能一体化工程材料。可制成高性能耐烧蚀材料，高性能摩擦材料，航空航天领域中难以替代的轻质高性能材料，也是硅晶体材料生产过程中很重要的高性能热场材料。 工艺研究 热场系列C/C复合材料设计； 碳－碳材料高纯度制备技术； 少无切削成型技术制造热场零部件，节能，节材，降低成本； 大尺寸零件坯体制备工艺技术； 大型真空设备设计制造技术； 大型零件的化学气相沉积增密技术；低密度大尺寸零件的机械加工工艺 湖南南方搏云新材料有限责任公司10 碳/碳复合热场材料产品系列材质分类 ?高密度 ?梯度 ?低密度 按应用领域分类高纯硅氢化炉热场 ?外保温筒 ?内保温筒 ?加热器 ?底保温板 多晶硅浇铸炉热场 ?上盖板 ?坩锅护板 ?坩锅托板 ?保温板 单晶硅生长炉热场 ?坩锅 ?加热器 ?导流筒 ?大盖板 ?炉底护盘 ?内外保温筒 PECVD设备零件 ?托板 ?导轨条 碳/碳复合热场材料与传统材料的比较优势 净、近成型(少无切削加工)工艺，节约能源，节约材料化学气相沉积(CVD)工艺，表面耐蚀性好，产品纯度高，无放气，成晶条件好产品强度高，简化了结构，缩小了尺寸，使用寿命长，产品性能价格比高产品重量轻，无粉尘，降低工人劳动强度，改善工人工作环境 湖南南方搏云新材料有限责任公司12 石墨 软毡 高密碳-碳 碳-碳保温 梯度碳-碳材料 热场设计 技术服务 兰州郝氏 ● ● ● 吉林联科 ● ● 北京金鑫 ● ● 北京敏迈特 ● 上海杰姆斯 ○ ○ ○ ● 上海高世 ● ○ 西安超码 ● ○ ○ 益阳金博 ● ○ 益阳祥瑞 ● 博云新材 ● 四川骏瑞 ● 湖南九华 ● ○ ● 烟台鲁航 ● ● 南方博云 ● ● ● ● ● ● ● 传统的等静压石墨和炭毡或石墨毡作为保温隔热仍为主流。世界上只有日本吴羽化学、东海碳素、日本碳与德国SGL等少数几家公司有少量的碳-碳复合材料产品投放市场。日本、德国、法国有几个用碳－碳复合材料制造坩埚的工艺方面的专利，说明碳－碳复合材料在这个领域的应用还处于探索阶段。 1）实现材料更新换代：改良西门子法制造高纯硅，为提高尾气循环回收效率、实现闭环环保生产，普遍采用热氢化工艺。进口的大型氢化炉内的隔热罩，有的采用不锈钢，有的采用石墨。高温腐蚀性气体使不锈钢保温罩很易损坏，迫使厂家很快谋求更换；大型高纯石墨很昂贵，多块石墨拼接的保温筒，笨重、昂贵，其隔热效果很差。用先进碳－碳复合材料取代传统的材料，提升了产品品质，降低了能耗，降低了产品成本； 2）提高产品可靠性：碳－碳复合材料强度为传统材料的10倍，换代材料推动了结构设计的改进，整体坩埚取代3瓣埚；整体导流筒、整体大盖板取代组合件等，大大提高设备的安全性、经济性、可靠性和可维修性； 3）提高产品的使用性能：碳－碳复合材料的整体性好，表面光洁规整，耐高温、抗热震、耐酸碱腐蚀，劣化慢，寿命长，降低了耗材的消耗；热场性能持续稳定，稳定了产品质量，提高了成品率，降低了消耗。 高性能碳-碳复合材料，在硅晶体生长炉上的大批量应用；有利于促进碳纤维产业技术工艺的进步，有利于提高我国碳纤维产业的制造水平； 大型真空装备设计制造技术的持续改进和持续大型化，把制造碳－碳复合材料的关键工艺装备水平推上了一个又一个新台阶。 带动高性能碳-碳复合材料风力发电、冶金、新材料、先进船舰飞机制造等领域的应用，大大提高了各种装备的技术含量，促进我国整体工业技术进步，在拉动碳纤维产业发展的同时，提高复合材料的制备技术和应用水平。 有助于促进信息产业及太阳能光伏产业等下游高新技术产业的发展。 高纯多晶硅作原料，多晶硅锭或在硅晶体生长炉中生长硅单晶棒，是半导体工业制作芯片和制造太阳能电池的基础材料。超纯及完整晶体结构的硅晶体是一条长长的价值链的起点，没有硅晶体就没有半导体、光电子、通讯技术及光电技术。高性能碳-碳复合材料产业是硅晶体产业发展的重要基础配套材料。提高碳-碳复合材料的技术水平对信息产业和太阳能产业产生明显促进作用。 有利于促进新材料产业产品替代，降低我国高新