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六、半导体发光与半导体照明六、半导体发光与半导体照明
((33 )发光器件的结构与制作技术)发光器件的结构与制作技术
①① 衬底的选择衬底的选择
②② 外延生长外延生长——MOCVDMOCVDMOCVDMOCVD
③③ Buffer layerBuffer layer
④④④④ QWQWQWQW layerlayerlayerlayer
⑤⑤ PP GaNGaN
⑥⑥⑥⑥ 电极制作电极制作电极制作电极制作
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