原创力文档- 288
- 0
- 约8.88千字
- 约 36页
- 2018-05-10 发布于江苏
- 举报
离子束辅助蒸发光学镀膜6
离子源技术及其应用
、
离子源技术及其在真空镀膜中的应用
离子源是将中性原子离化成为离子，
离子被加速获得能量并引出的装置
离子源作为卫星太空姿态
调整发动机而首先研发－电火箭
用于离子束辅助或直接
真空镀膜－离子源
离子源分类－按能量分类
离子能量分类 能量(eV) 特点 用途
能量高 表面改性
高能离子源 1000
束流小 离子表面注入
文档评论（0）