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?第十一章? 晶体薄膜衍衬成像分析
第一节 概述
电子衍射的进行微观结构形貌分析,要求电子束能够透过所观察的样品。
???利用获取间接样品实现对微观组织的观察,分辨率达到几纳米左右。由于复型材料颗粒较大,不能把细微结构复制出来。复型仅仅得到的是样品的表面形貌,无法对样品的内部组织结构(晶体缺陷、界面等)进行观察分析。
??? 薄膜样品直接观察分析。揭示样品内部的精细结构,使电镜的分辨率大大提高。
样品的要求
样品必须对电子束是透明的,观察区厚度一般在100-200nm范围一、复型(间接)样品的制备
复型是指将样品表面的浮凸复制于某种薄膜,可间接反映原样品的表面形貌特征的间接样品。
复型材料
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