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?目錄
第一章 ?序言 1
1-1序言 1
1-2 特色 2
第二章 位置規劃與安裝 3
2-1位置環境規劃與設備需求 3
2-1-1溫度 3
2-1-2濕度 3
2-1-3振動 3
2-1-4灰塵 3
2-1-5 需要面積 4
第三章 各部分的名稱和功能 5
3-1 各部名稱 5
3-2 元件的描述： 5
3-2-1機架裝置 5
3-2-2 平台 6
3-2-3 投射罩 6
3-2-4 Y軸 6
3-2-4 支架 7
第四章 操作 8
4-1 機器設定 8
4-2 量測操作 8
4-2-1使用CCD進行量測 8
4-3操作注意事項及安全規定 8
第五章? 檢測與保養 10
5-1 檢測與保養
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