材料分析方法第五章(本科).pptVIP

透射电子显微镜 菲利浦公司生产的TECNAI-20 （一）电子枪： 电子枪是透射电子显微镜的电子源。常用的是热阴极三极电子枪，它由发夹形钨丝阴极、栅极帽和阳极组成，如图8-2所示。 电子束会会集成一个交叉点，这就是通常所说的电子源。交叉点处电子柬直径约几十个微米。 (二)聚光镜 聚光镜用来会聚电子枪射出的电子束，以最小的损失照明样品．调节照明强度、孔径角和束斑大小。 一般都采用双聚光镜系统，如图所示。第一聚光镜是强激磁透镜，束斑缩小率为10-50倍左右，将电子枪第一交叉点束斑缩小为1-5 ；而第二聚光镜是弱激磁透镜，适焦时放大倍数为2倍左右。结果在样品平面上可获得2-10 的照明电子柬斑。 二．成像系统 成像系统主要是由物镜、中间镜和投景镜组成。 (一)物镜 物镜：用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。 透射电子显微镜分辨本领的高低主要取决于物镜。 因为物镜的任何缺陷都将被成像系统中其它透镜进一步放大。 物镜的分辨率主要决定于极靴的形状和加工精度。 为了减小物镜的球差，往往在物镜的后焦面上安放一个物镜光阑。物镜光阑不仅具有减小球差、像散和色差的作用，而且可以提高图像的衬度。 在用电子显微镜进行图像分析时，物镜和样品之间的距离总是固定不变的(即物距L1不变)。因此改变物镜放大倍