EQD-QC-xxx SPC管控作业指导书(通用型).doc

XXXXX有限公司三级文件文件编号EQD-QC-110类 别EQDSPC管控作业指导书机密等级■机密■一般制订日期2012-10-12版本/ 次B/0页 次 PAGE 13/13 XXXX有限公司 SPC管控 作业指导书 版 次:B 修改状态:0 编 制: 时间: 审 核: 时间: 批 准: 时间: 发放号码: 受控状态: 共 14页 年 月 日 颁布 年 月 日实施 XXXX有限公司 本文件为公司智慧财产，未经书面允许，不得以任何形式对外复制及发行 修订履历 修订后版本修订日期修订内容B/02012-10-12新版本首次发行 1.目的: 为规范公司SPC管理，特制定本作业指导书。 2.使用范围: 2.1本规范适用于硅片制造全过程。 2.2本规范主要定义了均植和极差值,标准差(一R,一S控制图)、不合格品率的P-Chart控制图、CPK的运用。 3.定义: 3.1 SPC英文Statistical Process Control的字首简称，即统计过程控制。SPC就是应用统计技术对过程中的各个阶段进行监控，从而达到改进与保证质量的目的。SPC强调全过程的预防。 3.2 控制图对过程质量加以测定、记录从而进行控制管理的一种用科学方法设计的图。图上有中心线(CL)、控制界限(UCL)和下控制界限(LCL)，并有按时间顺序抽取的样本统计量数值的描点序列。 4.职责： 4.1 品质部现场QC??责收集数据绘制图表; 4.2 QE负责输入SPC软件，QE分析过程控制能力。 5.作业内容： 5.1? 一R, 一S控制图 对于计量值数据而言，这是最常用最基本的控制图。它用于控制对象为长度、重量、强度、纯度、时间和生产量等计量值的场合。 一R,控制图 主要用于观察分布的均值的变化，R控制图用于观察分布的分散情况或变异度的变化，而一R图则将二者联合运用，用于观察分布的变化。 一S,控制图 主要用于观察分布的均值的变化，S控制图与R控制图相似，只是用标准差S代替极差R而已，但当样本量n10时,这时应用极差估计总体标准差σ的效率减低,因将一S标准差二者联合运用，用于观察分布的变化。 P控制图 用于控制对象为不合格品率或合格品率等计数值质量指标的场合。这里需要注意的是，在根据多种检查项目总合起来确定不合格品率的情况，当控制图显示异常后难以找出异常的原因。因此，使用p图时应选择重要的检查项目作为判断不合格品的依据。常见的不良率有不合格品率、废品率、交货延迟率等等。 5.2 一R控制图的制作：(组内样本量10个以内） 步骤1： 记录原始数据； ● 每天生产时根据SPC各工序的统计项目需要，需记录25组数据，其中白班13组，晚班12组，每组5个数据，以作一张完整的一R控制图； ● 根据每个工序的SPC管控项目需要，由现场检测QC每两小时一次随机抽取样品进行测试，同时将检测试的数据记录在报表中并描好点(当出现超出规格的点时将机台和晶体编号需备注)。 步骤2： 计算样本均值； =(X1+ X2+。。。+ Xn)/n 式中：X1，X2。。。为子组内的每个测量值。m为子组的样本容量。 步骤3： 计算样本极差R； R= X最大值- X最小值 步骤4： 计算样本总均值:与平均样本极差： =m 1 i x i ? ? m 1 =m 1 ? ? m 1 i Ri 步骤5： 计算R图与图的控制界限。 计算一R图应该从R图开始,因为图的控制界限中包含,所以若过程的变异度失控,则计算出来的这些控制界限就没有多大意义。 R图的控制界限计算公式如下： UCL= CL= LCL= 图的控制界限计算公式如下： UCL=+ CL= LCL=- 式中,系数A2、D3、D4见计量值控制图系数表如下： n2345678910D43．272．5