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第一章 微纳光电子系统_绪论
2012-5-18
1.11.1 微光学引言微光学引言
1.1.1 什么是微光学、MEMS/NEMS、iMS 和
微纳光电子系统微纳光电子系统 MOEMS?
- 微光学：Micro-optics,是微米尺度上的光学，其中包括微米尺
赖建军
度的光学表面微结构。
武汉光电国家实验室B101 - 物理意义上的微光学其单元尺寸已在光波长量级。常规光学的
主要理论和设计方法不适用于微光学或不能精确计算；常规的
光学冷加工完全不适用于微光学制作。
Tel: Email: jjlai@mail.hust.edu.cn - MEMS ：微机电系统（Microelectro mechanical systems) （美
国）；微系统技术（欧洲）；微机械（日本）
- 特点： “小人国”– 外部观察：尺寸小，但功能相同；内部
观察：设计方法和工艺技术完全不同于常规机电系统。
MEMS ?MEMS ? -MOEMS ：微光机电系统或光学MEMS,是微
光学与MEMS相结合的微系统技术。是当前
性能最佳、精度最高、知识密集度最高的微
Micro(small)
系统。
Electro(electric components/functionality) 微机械
Mechanical(mechanical components/functionality) 微电器 ＭＥＭＳ ＋ 微光学 MOEMS
微电路
Systems(integrated, system-like functionality)
1
2012-5-18
信息微系统 （iMS ）—是指外界信息通过MEMS或
MOEMS技术来实现功能或动作的系统，是广泛意义
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