第1章 微力传感器的本体设计.PDFVIP

哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任 公 司 第1章 微力传感器的本体设计 1.1总体方案的确定 传感器有很多种分类方法，按利用场的定律还是利用材料的物质法可分 为结构型传感器和物性型传感器，由结构型和物性型组合而成兼有两者特征 的传感器成为复合型传感器；按输出量是模拟量还是数字量可分为模拟量传 感器和数字量传感器；等等。最常用的分类方法是下述两种：第一种是按工 作原理分，如应变式、压阻式、压电式、光电式…。第二种按被测量分类， 如力、位移、速度、加速度…。当前几乎所有的技术领域都在使用电阻应变 式力传感器。采用应变式传感器，这不仅是由于应变片具有可靠性好，灵敏 度高的特点，还因为应变电桥的检测技术比较成熟。根据力传感器弹性组件 上安装电阻应变敏感组件处的变形形式，可以分成拉压式力传感器，剪切式 力传感器和弯曲式力传感器。在测量小力值时，我们通常采用弯曲式力传感 器。综合以上分析，我们决定采用电阻应变式力传感器。 根据以往设计的思想，我们设计了如图2-1，图2-2两种形式的本体结 F F Z Z 图1-1 图1-2 构。对比图1-1和图1-2，我们就会发现，在同样的受力情况下，图1-1的 应变要比图1-2的应变大一倍，但是，图1-2所示的结构具有刚度大，抵抗 斜应力的能力强。所以，我们采用了图1-2所示的结构。 1.2金属应变片的工作原理 金属应变片是利用其电阻应变效应来工作的。电阻应变效应是指金属系 材料在外力作用下产生机械变形，再由应变引起电阻变化这一现象。 设一长为l ，截面积为S （设S=π r2 ），电阻率为ρ的金属丝，未受力时， R 电阻值 为： l R = ρ S 哈 尔 滨 工 业 大 学 博 实 精 密 测 控 有 限 责 任 公 司 F 电阻丝受到拉力 作用时，将伸长　 l ，截面积相应减少　 S （　S =2π r ⋅ 　r ），因晶格畸变引起能带结构变化导致电阻率变化　ρ 。如 R 果将上述变化引起的电阻变化　 ，用全微分表示为 ρ ρ l l dR = dl − 2 dS + d ρ S S S dR dl dS d ρ = − + R l S ρ 代入S = π r 2 与dS = 2π r ⋅ dr ，式（1-2）写成 dR dl dr d ρ = − 2 + R l r ρ 上式中，dR R 电阻相对变化量 dl l 纵向相对变化量（即轴向应变） dr r 半径相对变化量（即径向应变） d ρ ρ --电阻率相对变化量 由材料力学可知，在弹性范围内轴向应变与径向应变关系有 dl l = ε