电子显微分析及研讨简述.pptVIP

电子显微分析简述;研究对象;研究手段;电子显微分析在材料研究中的应用;电子与固体物质相互作用的物理信号  ;总结如下：;第一部分 电子光学基础;两种显微镜对比;;2.2 光学显微镜的分辨率;提高光学显微镜分辨率的途径: 1、增加介质的折射率； 2、增大物镜孔径半角； 3、采用短波长的照明源★ 。 举例： 采用较大的孔径角来成像，最大的孔径角α=70?-75?， 在物方介质为油的情况下，n≈1.5,其数值孔径 nsin α ≈1.25—1.35;可见光的波长在3900--7600? 结论：光学玻璃透镜分辨本领的理论极限为半波长 2000? 紫外线:200-250 ?, 分辨本领可达100 ? X射线 100-0.5 ?, 还不错,但无法折射聚焦 需要寻找新照明源 ;3 电磁透镜成像;超高压电镜;3.2 电子透镜;（2）电磁透镜：旋转对称的电磁场使电子束聚焦。产生这种旋转对称磁场的线圈装置叫电磁透镜。 TEM、SEM：多个电磁透镜的组合。 电磁透镜是一种可变焦距或可变倍率的会聚透镜;磁透镜 ;3.3 电磁透镜的像差*;;球差最小散焦斑半径Δrs(折算到透镜物平面）： Cs—电磁透镜球差系数 ---电磁透镜孔径半角 ; 2 色差;产生色差的原因： 1、电子枪加速电压不稳定 2、电子束与样品相互作用发生非弹性散射。尽量使样品厚度薄;;3.4