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多尺度传热传质chapter 11
Multiscale Modeling of Heat and Mass Transfer
MEMS NEMS - Thermal Effects
Prof. Qiang Liao
Institute of Engineering Thermophysics
Chongqing University
/cquiet/
2010.6.6 Chongqing
工程热物理研究所 1/52
Institute of Engineering Thermophysics
MEMS NEMS - Thermal Effects
From microscale to nanoscale
Thermal operation
Heat generation
Thermal management
– OF MEMS/NEMS (heat dissipation)
– WITH MEMS/NEMS
N. Cordero
Tyndall National Institute, Cork, Ireland
工程热物理研究所 2/52
Institute of Engineering Thermophysics
From microscale to nanoscale
Scaling
Scaling effects on conduction
– Thermal resistance
– Junction temperature
Scaling effects on convection
– Fluid flow: Friction factor and Re
– Heat flow: Nu and Re
– Free/forced convection
工程热物理研究所 3/52
Institute of Engineering Thermophysics
Scaling
Millimetre Micron Nanometre
For a device with fixed proportions, the surface
area to volume ratio increases as the length
decreases
As things become smaller, surface effects
become relatively more important:
– Milliscale: Surface effects not important
– Microscale: Transition region
– Nanoscale: Surface effects are dominant
工程热物理研究所 4/52
Institute of Engineering Thermophysics
System Scaling
Two classes of effects to conside
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