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高真空阀门漏率和升压率的区别 众所周知,任何一种真空设备包括极高真空设备,都存在着气体 通过器壁、微孔从高压力区向低压力区渗透即漏气的现象,绝对不漏 的真空设备是不存在的。所谓的 “漏”,必须和设备的最大允许漏量 相联系。只要将漏气控制在设备允许的范围内,则认为是合理的、经 济的。不同的真空设备对漏气量的要求是不同的,因此最大允许漏量 也不一样。漏率和升压率是用于检测真空设备密封性的两个重要参 数。漏率是在规定条件下处于高压力(或高浓度)下的气体在单位时间 内通过漏孔流向低压力端(或低浓度端) 的气体量,分为动态漏率和 静态漏率。升压率是通过被抽容器与真空泵隔离后测定随时间的增加 而升高的压力值来确定的,是一个静态的概念。 升压率除了气体通过焊缝、密封件、材料本体向设备内部渗透的 漏率外,还包括设备内部各器件本身的吸附气体的解吸和其它物质 (如油、脂) 的蒸汽压。因此两个概念是不同的,漏率包含于升压率, 其值只是升压率的一部分。实际测量过程中,往往用升压率来检测, 并把升压率与被测容积相乘作为漏率。 在一定范围这种转化是允许的、可行的,但超过适用范围,会发生 数值严重背离的现象,即升压率达到指标,但转化后的漏率却大得不 可思议。 下面以我公司高真空气动挡板阀为例,通过计算结果来说明漏率 和升压率的差异,指出主要影响因素,并推而广之。 1、阀门参数 表1 给出了GDQ-J 系列阀门各参数的统计结果。为便于观察各 参数的变化趋势,同时给出了变化趋势图(见图1) 。从曲线可看出, 阀门密封圈总长和焊缝总长的增幅远小于阀门内表面积和容积的增 长。 表1 阀门参数表 图1 阀门参数变化曲线 2、漏率计算 本文论及的漏率主要包括大气通过密封圈和焊缝向真空侧的漏 气量,没有把气体通过阀体材料渗入阀体内部的气体计算在内。 2.1、密封圈的漏率计算 漏率计算以Roth 关于单橡胶密封圈的密封过程基本方程为准。 式中 C ———气体从环形密封界面流过的总流导 F ———密封过程橡胶圈所受到的压紧力 q ———漏率 T ———以绝对温标表示的气体温度 M ———气体分子的分子量 R0 ———环形密封界面的外径 R1 ———环形密封界面的内径 A ———密封表面等边角锥的峰谷高度值 L ———环形界面的总长度 w ———橡胶圈表面接触宽度 R ———密封系数,与密封材料有关的常数 Cr ———橡胶圈的压缩比 E ———橡胶材料的杨氏模量 ΔP ———密封界面两侧的压力差 不失一般性,计算结果满足下列前提:大气为标态环境(压力1. 013 ×105Pa 、温度293K、相对湿度65%) ;密封材料为丁腈的 “O” 形圈;密封圈内径在10～300 mm , 压缩比取0. 25 , 内径在300 ～ 1200 mm ,压缩比取0. 3 ;密封面粗糙度为Ra1. 6 ;计算值为密封圈 对空气的漏率。 2. 2 、焊缝漏率 焊缝漏率采用氦质谱检漏法得出漏孔对氦的漏率,转化为对空 的漏率,即氦漏率×4/ 29 。采用真空氦罩法测量,检漏仪是法国 ALCATEL 公司ASM142 氦质谱检漏仪,最小可检漏率为1 ×1027 Pa · L/ s。对高真空阀门的常规手工焊的焊缝测量结果可知,单位长度的 焊缝漏率为1. 7 ×1028 Pa ·L/ s·cm。 3、放气量的计算 放气量以阀门内表面和阀板暴露真空侧的表面积为主,没有把密 封圈的放气量计算在内。 Q = q ×S 式中 Q ———单位时间阀门内表面的放气量 q ———材料的常 温出气率 S ———阀门内表面积和阀板暴露真空侧的表面积之和 不锈钢材料, q 按未经烘烤、布抛光、静态法测试、抽空5 小 时的出气速率选取(6. 7 ×1028Pa ·L/ (s·cm2) ) ;碳钢材料, q 按未经烘烤、丙酮清洗、静态法测试、抽空5 h 的出气速率选取(5. 3 ×1027 Pa·L/ (s·cm2) ) 。 4 、计算结果 各计算数据列于表2 ,并依此绘出曲线图2 。 图2 阀门漏率和放气率曲线 暂且把内表面放气量、密封圈总漏率和焊缝总漏率之和称为“漏 放率”。密封圈总漏率为根据Roth 公式计算出的漏率