第六章 扫描电子显微镜2（上）.pptVIP

第六章 扫描电子显微镜 山东科技大学材料学院 吴杰 扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或透射电子显微镜不同，它是以电子束作为照明源，把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样上，产生各种与试样性质有关的信息，然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。 在最近20多年的时间内，扫描电子显微镜发展迅速，又综合了X射线分光谱仪、电子探针以及其它许多技术而发展成为分析型的扫描电子显微镜，仪器结构不断改进，分析精度不断提高，应用功能不断扩大，越来越成为众多研究领域不可缺少的工具，目前已广泛应用于冶金矿产、生物医学、材料科学、物理和化学等领域。 扫描电子显微镜特点： 仪器分辨本领较高。二次电子像分辨本领可达1.0nm(场发射),3.0nm(钨灯丝)； 仪器放大倍数变化范围大（从几倍到几十万倍），且连续可调； 图像景深大，富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面（如金属和陶瓷的断口等）； 试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的试样不加处理或稍加处理，就可直接放到SEM中进行观察。一般来说，比透射电子显微镜（TEM）的制样简单，且可使图像更近于试样的真实状态； 可做综合分析。 SEM装上波长色散X射线谱仪（WDX）（简称波谱仪）或能量色散X射线谱仪（EDX）（简称能谱仪）后，在观察扫描形貌图像的同时，可对试样微区进行元素分析。 装上半导体样品座附件，可以直接观察晶体管或集成电路的p-n结及器件失效部位的情况。 装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于不同环境（加热、冷却、拉伸等）中的试样显微结构形态的动态变化过程（动态观察）。 第一节 电子束与固体样品作用时产生的信号 第二节 扫描电子显微镜的结构和工作原理 第三节 表面形貌衬度原理及其应用 第四节 原子序数衬度原理及其应用 一、背散射电子 背散射电子是被固体样品中的原子反弹回来的一部分入射电子，其中包括弹性背散射电子和非弹性背散射电子。 弹性背散射电子是指被样品中原子核反弹回来的，散射角大于90°的那些入射电子，其能量没有损失（或基本上没有损失）。由于入射电子的能量很高，所以弹性背散射电子的能量能达到数千到数万电子伏。 非弹性背散射电子是入射电子和样品核外电子撞击后产生的非弹性散射，不仅方向改变，能量也有不同程度的损失。如果有些电子经多次散射后仍能反弹出样品表面，这就形成非弹性背散射电子。非弹性背散射电子的能量分布范围很宽，从数十电子伏直到数千电子伏。 从数量上看，弹性背散射电子远比非弹性背散射电子所占的份额多。 信息深度：背散射电子来自样品表层几百纳米的深度范围。 衬度来源：由于背散射电子的产额能随样品原子序数增大而增多，所以不仅能用作形貌分析，而且可以用来显示原子序数衬度，定性地用作成分分析。 二、二次电子 二次电子：在入射电子束作用下被轰击出来并离开样品表面的核外电子叫做二次电子。 由于原子核和外层价电子间的结合能很小，因此外层的电子比较容易和原子脱离。当原子的核外电子从入射电子获得了大于相应的结合能的能量后，可离开原子而变成自由电子。如果这种散射过程发生在比较接近样品表层，那些能量尚大于材料逸出功的自由电子可从样品表面逸出，变成真空中的自由电子，即二次电子。一个能量很高入射电子射入样品时，可以产生许多自由电子，这些自由电子中90％来自样品原子外层的价电子。 二次电子的能量较低，一般都不超过8×10-19J（50 eV），大多数二次电子只带有几个电子伏的能量。在用二次电子收集器收集二次电子时，往往也会把极少量低能量的非弹性背散射电子一起收集进去。事实上这两者是无法区分的。 信息深度：二次电子一般都是在表层5～10nm深度范围内发射出来的，它对样品的表面形貌十分敏感，能非常有效地显示样品的表面形貌。 二次电子发自试样表面层，入射电子还没有较多次的散射，因此产生二次电子的面积与入射电子的照射面积没多大区别，所以二次电子的分辨率较高，一般可达3～6nm。扫描电子显微镜的分辨率通常就是二次电子分辨率。 衬度来源：二次电子产额主要决定于表面形貌；和原子序数之间没有明显的依赖关系，所以不能用它来进行成分分析。 三、吸收电子 入射电子进入样品后，经多次非弹性散射能量损失殆尽（假定样品有足够的厚度没有透射电子产生），最后被样品吸收。 若在样品和地之间接入一个高灵敏度的电流表，就可以测得样品对地的信号，这个信号是由吸收电子提供的。假定入射电子电流强度为i0，背散射电子流强度为ib，二次电子电流强度为is，则吸收电子产生的电流强度为ia=i0-(ib+ is)。 入射电子束和样品作用后，若逸出表面的背散射电子或二次电子数量任一项减小，将会引起吸收电子信号强度增加。若把吸收电子信号调制成图像，则它的衬度恰好和二次电子或背散射电子信号调制的图像衬度相反。 入射电子束射入一含有