北京大学微电子学研究所半导体物理课件1.pdfVIP

半导体物理 1、教材/参考书： 1）《半导体物理》讲义 2 ）半导体物理（上册，新版）叶良修编著 3 ）半导体物理学刘恩科编著（国防科技出版社） 4)半导体器件物理（Semiconductor Device Physics） 施敏（S.M.Sze) 著1981第二版 5 ）Fundamentals of Modern VLSI Devices, Yuan Taur and Tak H. Ning, (Cambridge University Press, 1998 edition) 6 ）半导体器件基础（电子工业出版社）黄如等译 7 ）半导体物理与器件（电子工业出版社）赵毅强等译 北京大学 微电子学研究所 北京大学 微电子学研究所 北京大学 微电子学研究所 第一章概述 §1.1 半导体物理与微电子学的关系 §1.2 微电子学与半导体物理发展之间关系 §1.3 集成电路技术的发展规律 §1.4 微电子技术发展趋势和面临的挑战 §1.5 本课程的定位和内容安排 北京大学 微电子学研究所 北京大学 微电子学研究所 北京大学 微电子学研究所 §1.1 半导体物理与微电子学的关系 半导体物理在学科中的位置和作用 固态电子学--现代信息科学的基础 微电子学 光电子学 •研究在微小尺度下，固体（主要是半导体〕材料上构成 的器件、电路、及系统中电子运动规律的学科 •微电子学是固态电子学的分支之一 •脱胎于电子学和固体物理学的边缘性技术学科 •其物理基础是固体能带论 北京大学 微电子学研究所 北京大学 微电子学研究所 北京大学 微电子学研究所 §1.2 微电子学与半导体物理发展之间的关系 微电子学领域 •半导体材料和器件物理 •集成电路工艺 •集成电路设计原理和技术 •集成电路功能和特性测试 微电子技术的理论基础是半导体物理和器件物理，是固体物理 理论中有关半导体材料和器件的学科分支。 微电子学理论（半导体物理和器件物理）的诞生是以半导体晶 体管的发明和晶体管理论的建立为标志。 在微电子科学的发展中，一些里程碑式的事件，对微电子学科 的发展起了积极的推动作用。 北京大学 微电子学研究所 北京大学 微电子学研究所 北京大学 微电子学研究所 §1.2 微电子学与半导体物理发展之间的关系 1、晶体管发明和晶体管理论的建立（1947年） 晶体管发明是固体物理理论研究、半导体材料、技术科学研究 取得重大突破后的必然结果。 1）量子力学的诞生 19世纪末，现代物理学的一系列发现 揭示了微观物理世界的基本规律，以此为基础诞生了现代 物理学的理论基础－量子力学 （以海森堡和薛定锷建立的量子力学体系为基础，其中薛 定锷提出的薛定锷方程已经成为量子力学最基本和广泛使 用的方程