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干涉测量 －由静态到动态 南京理工大学 陈磊 2008年12月20日 主要内容 静态干涉图的处理 移相干涉术 环境对干涉测量的影响 干涉图高速采集法 共光路干涉仪 自适应主动抗震干涉仪 动态移相干涉仪 干涉图－干涉条纹是等高线 典型的干涉仪 条纹追踪法 条纹细化法 FFT法 移相干涉术 移相式干涉仪-Zygo GPI xp ?300mm斐索卧式移相干涉仪 气流的影响 震动的影响 实际应用所提出的问题 震动严重时的测试结果 隔震平台－最常用的方法 封闭腔－抑制气流影响 干涉图高速采集法 条纹法 FFT法 虚光栅莫尔条纹法 空间载频移相法 虚光栅莫尔条纹法 空间载频移相法 共光路干涉仪 错位干涉仪 点衍射干涉仪 散射板干涉仪 错位干涉仪 点衍射干涉仪 散射板干涉仪 我们面临的难题 单幅干涉图测量 精度有限 时间移相干涉 控制环境费用昂贵，且常常难以实现 共光路干涉仪 移相困难 解决途径－空间移相 主动抗震干涉技术 震动补偿的主要思想 光强-相位法 电光调制法 声光调制法 声光外差测震法 半导体激光器光反馈法 同步检波锁相干涉仪 震动补偿的思想 探测光程改变 反馈补偿信号，由PZT驱动参考反射镜补偿 光强-相位法主动抗震装置 偏振移相方案 电光晶体调制方案 动态干涉测量 移相式偏振干涉 空间移相(多个CCD方案) Phase Shift Co. ESDI Co. 空间移相(单个CCD方案) 4D Co. 南京理工大学 偏振移相干涉 4 CCD方案 ESDI斐索型同步移相干涉仪 ZYGO GPI PE 4D PhaseCam Operation 像素位相掩模板 同步移相－ Fizeau干涉仪 4D 动态干涉仪 震动条件下的测量 Modal Movie - Disk Vibration 同步移相偏振干涉仪 测试结果 结论 位相延迟器 检偏器 ?波片 机械式的补偿器，巴比涅-索列尔补偿器 电光晶体补偿器 液晶调相 亚利桑那大学的方案 EO 光程差 Single Mode Laser EO Modulator PBS QWP Diverger Optics HWP P S Controller Driver Pupil Image Plane Reference Mirror Test Mirror Point Phase Sensor Pol 偏振干涉仪 ?波片 检偏器 带有一定位相偏差的正交偏振光 动态干涉仪的关键：两个振动方向垂直的线偏振光 Senarmont法 有关偏振移相干涉，请参见：苏大图. 光学测试技术. 北京理工大学，1996，第六章 L. Koliopoulos. Simultaneous phase shift interferometer. SPIE，1991，1513：119-127 Phase Shift公司 泰曼干涉仪 ESDI公司的Intellium H2000 干涉仪 p光 s光 CCD Four Phase Shifted Interferograms on Detector Phase Mask, Polarizer Sensor Array Holographic Element Test Mirror Optical Transfer HOE PBS Laser Diverger QWP CCD 泰曼型 两束正交偏振光 形成4幅图像 全息光学器件 单个摄像机 1024 x 1024 2048 x 2048 90o偏振移相 J.C. Wyant. Dynamic interferometry , Optics Photonics News 14, 36-41(2003) J. Millerd，N. Brock, et al．Pixelated Phase-Mask Dynamic Interferometer. SPIE,2004,5531:304-314 Bradlley T.kimbrough,James Millerd,et al.．Low-coherence vibration insensitive Fizeau interferometer. SPIE,2006,6292:1-11 Fizcam 2000 / Al mirror, 408 Hz * 照相物镜的干涉图 用样板看光圈 干涉图的生成 泰曼干涉仪 分光路 斐索干涉仪 部分共光路 手动给定起始条纹极值点位置，然后由程序追踪。条纹追踪的判据为： (1) 中心像素的邻域光强之和最大（或最小） (2) 光强梯度最小（或最大） 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 0 原干涉图 细化与修像 标记 采样 滤波 二值化 采样线 条纹法的优缺点 FFT 频域滤波 FFT-1 优缺点 干涉图强度分
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