第二讲 真空泵.ppt

真空的获得 孚日光伏项目组 提 纲 真空泵的原理及类型 机械真空泵 喷射真空泵 气体捕集真空泵 提 纲 真空泵的原理及类型 机械真空泵 喷射真空泵 气体捕集真空泵 真空泵的原理 真空泵：利用各种方法对某一封闭容器进行抽气的装置。 原理：形成压力差，高压区的气体分子密度大，低压区的气体分子密度低，迫使气体分子向低压区运动 真空泵的类型 机械真空泵，以机械运动（转动和滑动）获得真空的泵 油封机械泵（旋片式、定片式、滑阀式） 罗茨泵 水环泵 往复式真空泵 涡轮分子泵 喷射真空泵，高速喷射蒸汽流获得真空的泵 水喷射泵 油扩散泵 气体捕集真空泵，将气体分子吸附或凝结在泵表面上的真空泵 溅射离子泵 低温泵 分子筛泵 提 纲 真空泵的原理及类型 机械真空泵 喷射真空泵 气体捕集真空泵 旋片式真空泵Rotary Vane Vacuum Pumps 旋片式真空泵：用油保持运动部件的密封、靠泵腔体积变化实现抽气的真空泵。属于变容式气体传输机械泵 工作压力范围：105～1.33×10-2Pa 优缺点 优点 旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体 可直接从大气压启动抽气 可单独运行，也可与其它高真空泵组合利用 缺点： 气温影响泵的运行 泵油可能返回到真空室中 不可抽养氧过高的、对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体 （氟、氯） 罗茨式真空泵 Roots Vacuum pump 罗茨式真空泵： 无内压缩的旋转变容式真空泵???? 工作范围：10～1000Pa 罗茨式真空泵 Roots Vacuum Pump 特点 起动快，能立即工作； 在较宽的压强范围内有较大的抽速 对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感； 转子不必润滑，泵腔内无油； 振动小，转子动平衡条件较好，没有排气阀； 驱动功率小，机械摩擦损失小； 结构紧凑，占地面积小； 运转维护费用低 不能单独使用，必须与前级泵（旋片泵或水环泵等）串联使用 水环式真空泵Water Ring Vacuum Pumps 水环式真空泵：旋转变容式 极限真空为 2000~4000Pa，串联大气喷射器可达270~670Pa。 水环式真空泵Water Ring Vacuum Pumps 水环泵的优缺点 优点 结构简单，制造精度不高 结构紧凑，可与电动机直联 不须对泵进行润滑，间隙可有液体密封 吸气均匀，工作平稳，操作简单，维修方便 缺点 噪音大，泵内易有水垢 尺寸大，功耗大，效率低 极限压力高，真空度低 往复式真空泵Reciprocating Vacuum Pump 往复式真空泵工作原理 单级极限压力为1330-2660Pa 双极极限压力为4-7Pa 三级泵极限压力为：0.1-2.6Pa 涡轮分子泵 Turbomolecular Pumps 涡轮分子泵 Turbomolecular Pumps 分子泵损坏 提 纲 真空泵的原理及类型 机械真空泵 喷射真空泵 气体捕集真空泵 扩散泵 Diffusion pump 扩散泵的优缺点 优点： 无机械运动，不需润滑 结构简单，可长期使用，维护费用低 对气体无选择性 价格低廉 缺点： 必须与机械泵组合，不能单独抽气 油蒸气可能扩散进入真空室 抽真空速度慢 冷却速度慢，关机所需时间长 提 纲 真空泵的原理及类型 机械真空泵 喷射真空泵 气体捕集真空泵 离子泵 （Ion pumps） 离子泵：以钛或钽为阴极，靠潘宁放电位置抽气的一种无油清洁超高真 空泵。 原理： 阳极加高压，气体电离 溅射出钛或钽，与活性气体反应形成化合物 惰性气体电离后轰击阴极时被排除 打入阴极或被溅射的钛或钽覆盖 从阴极获得电子后，反射到阳极表面被溅射的钛或钽覆盖 低温泵 （Cryopumps） 低温泵：利用低温（低于100K）表面冷凝和吸附气体来抽气的真空泵称 为低温泵。极限压力可达10-3Pa 原理： 气体冷凝为固态， 吸附材料（活性炭、分子筛）低温吸附气体分子， 低温捕集（冷霜层吸附或埋葬不可凝气体） 分子筛吸附泵molecular sieve adsorption pump 分子筛吸附泵：利用分子筛在低温下能大量吸气、在高温下又能将吸附的气体释放出来的性质而设计的一种真空泵。 原理：由上盖板的两个孔注入液氮后, 分子筛便大量吸气, 泵内被抽成真空。当液氮消耗完毕, 分子筛吸附的气体缓慢放出, 泵内压强超过一个大气压时,冲开安全阀的氟橡胶塞子, 气体排入大气中。泵用7～ 8 次后需加热再生一次。 真空泵使用范围 Thank You Sunvim Solar Technology * 特点： 属于低真空获得设备之一。