第10章___湿度传感器.pptVIP

湿度传感器 目录 一、简介 二、湿度及湿度传感器 三、电解质系湿度传感器 四、半导体及陶瓷湿度传感器 五、有机物及高分子聚合物湿度传感器 六、湿度传感器的应用及发展动向 本章小结 一、简介 湿度检测的重要性 湿度与科研、生产、人们生活、植物生长有密切关系，环境的湿度具有与环境温度同等重要意义。 目前人们对湿度的重视程度远不及对温度的重视。因此湿度测量技术的研究及其测量仪器远不如温度测量技术与仪器那样精确与完善。 由于对湿度监测不够精确，致使大批精密仪器与机械装置锈蚀、谷物发霉等，每年因此造成巨大损失。 二、湿度及湿度传感器 1、湿度及其表示方法 2、湿度传感器及其特性参数 3、湿度传感器的分类 1、湿度及其表示方法 在自然界中，凡是有水和生物的地方，在其周围的大气里总是含有或多或少的水汽。 大气中含有水汽的多少，表示大气的干、湿程度，用湿度来表示，也就是说，湿度是表示大气干湿程度的物理量。 大气湿度有两种表示方法：绝对湿度与相对湿度。 ①、绝对温度 绝对湿度表示单位体积空气里所含水汽的质量，其表达式为: ②、相对湿度 相对湿度是气体的绝对湿度(ρV)与在同一温度下，水蒸汽已达到饱和的气体的绝对湿度(ρW)之比，常表示为％RH．其表达式为 相对湿度= (ρV /ρW)×100%RH 根据道尔顿分压定律，空气中压强P＝Pa十PV(Pa为干空气分压，PV为湿空气气压)和理想状态方程，通过变换．又可将相对湿度用分压表示： 相对湿度＝ (PV /PW)×100% RH； 式中：PV一待测气体的水汽分压； Pw一 同一温度下水蒸汽的饱和水汽压。 2、湿度传感器及其特性参数 湿度传感器是指能将湿度转换为与其成一定比例关系的电量输出的器件式装置。 主要特性参数有： ①湿度量程 ②感湿特征量 ③灵敏度 ④湿度温度系数 ⑤响应时间 ⑥湿滞回线和湿滞回差 ①、湿度量程 ②、感湿特征量 —相对湿度特性曲线 感湿特性曲线 湿敏元件的感湿特征量随环境相对湿度变化的关系曲线，称为该元件的感湿特征量 —相对湿度特性曲线，简称感湿特性曲线。 人们希望特性曲线应当在全量程上是连续的，曲线各处斜率相等，即特性曲线呈直线。 斜率应适当，因为斜率过小，灵敏度降低；斜率过大，稳定性降低，这些都会给测量带来困难。 PI电容式湿度传感器湿度特性图 PI电容式湿度变送器输出特性曲线 ③、灵敏度 普遍采用的灵敏度的方法 目前．虽然关于湿敏元件灵敏度的表示方法尚未得到统一，但较为普遍采用的方法是用元件在不同环境湿度下的感湿特征量之比来表示灵敏度。例如日本生产的MgCr2O4—TiO2湿敏元件的灵敏度．用一组电阻比R1%／R20%，R1%／R40%，R1%／R60%，R1%／R80%及R1%／R100%表示，其中R1%， R20%， R40%， R60%，R80%及R100% 分别为相对湿度在1％，20％，40％，60％，80％及100％时湿敏元件的电阻值之比。 ④、湿度温度系数 MgCr2O4—TiO2 湿敏元件的温度特性 ⑤、响应时间 K2O一Fe2O3湿度敏感器件的响应特性曲线 ⑥、湿滞回线和湿滞回差 Mn3O4- TiO2湿敏器件在80℃时的湿滞回线 一个理想化的湿敏器件所应具备的性能参数 三、电解质系湿度传感器 无机电解质湿度传感器 典型的是氯化锂湿敏元件 光硬化树脂电解质湿敏元件 高分子电解质湿度传感器 氯化锂湿敏元件敏感机理 氯化锂是典型的离子晶体。氯化锂溶液中的Li+和Cl +是以正、负离子形式存在。 机理1：不挥发盐（加氯化锂）溶解于水，降低了水的蒸气压，同时盐的浓度降低，电阻率增加(水的蒸气压越低，盐的浓度越低，电阻率越高??相对湿度越小，电阻越高）。 机理2：当溶液置于一定湿度环境中，若环境相对湿度高，氯化锂将吸收水分而使其电离程度提高，导电能力增强，从而使氯化锂湿敏元件电阻降低；反之，环境相对湿度变低．氯化锂将释放出部分水分而使其电离程度下降，导电能力下降，其电阻上升；所以用氯化锂湿敏元件可实现对相对湿度的测量。 ①、登莫(Dunmore)式 氯化锂湿敏特性曲线 ②、浸渍式（1） 与登莫式传感器一样，若仅使用一个这种传感器，则所能检测的湿度范围狭窄。因此，为了能够对传感器材料所能检测的整个湿度范围((20一90)％的相对湿度)都能进行检则，就必须使用几个特性不同(改变氯化锂溶液浓度的器件)的传感器。 ②、浸渍式(2) ③、光硬化树脂电解质湿敏元件 2.高分子电解质湿度传感器 ①、聚苯乙烯磺酸锂湿敏元件 ②、有机季铵盐高分子电解质湿敏元件 ③、聚苯乙烯磺酸铵