Chapter1 真空基本知识.pptVIP

永久连接 玻璃与玻璃的烧接 金属与金属的焊接 镴焊与钎焊 金属与玻璃的封接 可拆连接 弹性体垫圈 (橡皮垫圈、人造 橡皮垫圈) 可拆连接 金属垫圈 (铟、铝、铜、 银、金等) 可动连接 可动连接 波纹管是金属制的薄壁褶皱软管，富有弹性，易于弯曲与伸缩 a 既不漏气，亦不放气 b 主要是放气 c 主要是漏气 d 同时存在放气及漏气 a P0 P b c d t 如何比较漏孔的大小？ 在一定具体条件下，用通过漏孔的流量，即漏率表示，单位通常用托·升/秒。 (最大)容许漏率 真空系统正常工作所能允许的最大漏气量。 P平衡≤P工作时漏气是允许的。一般规定容许漏率 真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气是指实漏，而虚漏是指材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出。 确定是否存在漏气 找出漏孔位置以便修补 在必要时估计漏孔大小 压强差的利用 利用气体流动引起的效果，设法探查漏孔所在 外压强为大气压 外压强为“真空” 带抽气工具 不带抽气工具 示漏气体与探测器 立刻响应：如高频火花法 响应较快稳定： 如外探头的卤素法 响应很慢稳定： 如显影带氨检漏法 探查法的响应过程： 能检出尽可能小的漏孔 反应迅速，2－3秒响应 最好能找出漏孔位置，确定漏率大小 示漏物质空气中含量少 检漏范围宽，稳定性好 结构简单牢靠，操作维修方便 打气检漏法 打进高压气体的容器浸入水中，由气泡判断 卤素检漏法 铂在高温下遇卤素气体时正离子发射急速加剧 氨检漏法 利用氨的碱性及与试纸的颜色反应 高频火花和真空计检漏法 高频火花检漏法 加高频高压电场时的金属尖端在大气中能放 电，低压气体更容易受电场激发引起放电。 真空计检漏法 热真空计示漏物质：H2、CO2、丁烷、丙酮、乙醚、酒精等 电离计示漏物质：H2、He、Ar、CO2等 高频火花检漏法有什么缺点？ 电离真空计示漏物质为什么不用有机物？ 质谱仪检漏法 真空计检漏特点：对空气一个响应，对示 漏气体是另一个响应。选择相对性 质谱仪检漏法特点：对示漏气体有响应， 对空气及其它气体没有响应。选择绝对性 分压强真空计在原理上都是很好的绝对选择性探测器。 氦气的优点 在空气中含量极少，5ppm，放气含量为0 在质谱图上荷质比离其它离子较远 分子小，质量轻，易于穿过漏孔，流动扩散快 离子荷质比小，故偏转半径小，分析器可小些 惰性气体，不起化学反应，不污染真空系统 * 电离真空计测量范围： 测高真空（10-1—10-6Pa）。 根据气体电离源的不同，又分为热阴极电离真空计（应用极普遍）和冷阴极电离真空计。 热阴极电离真空计的测量范围一般为10-1-10-6Pa 。在压强大于10-1Pa左右时，虽然气体分子数增加，电子与分子的碰撞次数增加，但电子能量下降，电离几率降低，所以当压强增加到一定程度时电离作用达到饱和，使曲线偏离线性，故测量的上限为10-1Pa。 二、电离真空计 测量的下限为10-6Pa： 在低压强下(小于10-6Pa)，具有一定能量的高速电子打到加速电极上，产生软x射线，当其辐射到离子收集极时，将自己的能量交给金属中的自由电子，会使自由电子逸出金属而形成光电流，导致测量到的离子流增加，即这时由离子收集极测得的离子流是离子电流与光电流(与P无关)二者之和，当二者在数值上可比拟时，曲线也将偏离线性。故10-6Pa就成为测量的下限压强值。 下限： 光电发射电流 电子轰击收集极产生的X射线 灯丝发出的光 外界照射光 上限： 电子繁流现象 自由程短，碰撞未引起电离 离子与电子复合 Pa 5 1 电子在电场中飞行时从电场获得能量，若与气体分子碰撞，将使气体分子以一定几率发生电离，产生正离子和次级电子。其电离几率与电子能量有关。电子在飞行路途中产生的正离子数，正比于气体密度n，在一定温度下正比于气体压力P。因此，可根据离子电流大小指示真空度。 电离真空计规管 外控接法 电离真空计外控 接法电原理图 电源 直流稳压线路 离子流放大器 发射电流稳定器 气体成分的影响 不同气体电离几率不同，故灵敏度不同 放气与吸气 脱附放气现象——烘烤除气 电清除吸气现象——规管短而粗 优点 测出总压强 响应快，可连读、远控 可测很低的压强 规管小，易于连接 刻度曲线直线范围宽 对机械振荡不敏感 缺点 灵敏度与气体种类有关 压强高于0.1Pa时，灯丝