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目录 SCHMID工艺设备介绍 1.软件介绍 操作模式 1.机器操作模式 2.控制操作模式 1.自动模式 2.特殊操作模式 控制模式: 1.2SCHMIDWATCH的总体布局 机器摘要: 2.2信息区和工具栏 1.3控制和监控过程(Machine) 1.Reports报告 2.Parameters 参数 3.Controls 控制 4. Maintenance 维修 5. Dosing 添加溶液 6. Cleaning 清洗 7. Makeup 配液 8. 上下文帮助和输入水平 9. 历史报告 1.4 recipes配方 1. Detail 详细信息 2. New 新建 3. Modify 修改 4. Copy 复制 5. Delete 删除 6. Load 装载 7. Save 保存 8. Summary摘要 1.5 管理用户和权限 2.设备介绍 使用F12功能键或双击,打开一个窗口,可以进行各种输入和选择。该窗口可以显示附加帮助文本,如果用户有相应的存取权,也可以进行编辑。 除了在各种报告单上显示,所有的信息也可以保存在数据库中,并且以标准格式保存60天。 在弹出的窗口的帮助下,历史信息也可以使用多种过滤选择来展示和评估历史信息 比如:选择日期、detail等。 上部菜单上的趋势菜单项目可以调用历史趋势资料。 右边是可用到得信号菜单,下面是时间选择区域。 趋势图可以通过实施按钮手动更新,使用自动复选框趋势图循环更新。 用打印按钮可以打印图表,下面的数据被存为CSV 文件,也可以以Excel 的形式进一步处理。 通过点击Detail,在点击Parametre,可以得到每个模组的工艺设置。 使用新建菜单项目,新方法和当前机器状态被保存下来。 1.键入该方法的名称和描述。 2.点击保存按钮来从当前参数读取信息和保存下来。 使用recipe窗口的Parameter按钮打开一个新窗口,在这个窗口中,个别参数可以被修改而不影响机器的当前生产。 当方法改变了,名称不能再写入。为此,老方法必须以一个新名称复制下来。然后,新方法可以以一个新名称存档,描述和信息可以随意修改 所选择的方法的数据可以使用复制菜单项目以一个新名称保存下来。 所选择的方法也可以通过删除按钮删除。 所选择的方法也可以通过删除按钮删除。 通过载入菜单,所选择方法的参数可以单独地载入机器的控制系统,此操作可能需要一些时间,直到该操作已经通过。 通过使用保存菜单,选择方法的参数被重新写入数据库。该操作可能也需要花费一些时间,直到已经进行的操作显示 菜单项目摘要开辟了一个新窗口来展示所有方法和这些方法的参数。该表格允许检查和比较所有方法。 Admin:机器的管理员,有权使用史密德机器做任何事情。 等级9 ? Chemist:药剂师:只能更改配方。 等级6 ? Engineer: 工程师:能更改配方以及部分设备参数。 等级8 Operator:操作员 能更改一些最基本的参数,比如带速等。 等级4 ? Service:维修人员,赋予维修权利的相关人员 等级6 ? Worker: 工人,没有权利修改生产数据和过程参数 等级1 * 设备结构介绍 2 软件介绍 3 1 工艺介绍及工艺异常处理 3 3 1.1操作模式 机器操作模式: 功能:1.准备(待机)功能激活 2. 在设备错误被激活下可进行可运转 3.滑动窗监控激活 1.解除传感器 功能:在解除传感器下,传入传感器启动。即使没有硅片在机器中,机器的所有设备也可以启动。也包括待机设备在内所有设备开始运行。 在MO01中的控制里: Override sensor ON = sensor is not active 解除传感器ON=传感器没有激活 Override sensor OFF = sensor active (normal status).解除传感器FF=传感器激活 2. ‘解除滑动窗口’没有滑动窗口监视操作 功能:当开关转到‘解除滑动窗口’(要开关转到1),滑动窗口监控关闭,当滑动窗口打开时,机器仍继续运行 注意:如果滑动窗口接触被解除(override sliding windows ON = 1)及滑动窗口被打开,泵开始运行。因此,当打开带运行中的泵和滑动窗口的操作模组时,必须特别小心。 3.‘维修’
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