第3章 自动检测技术.pdfVIP

第3章电容式传感器 第3章 电容式传感器  电容式传感器的工作原理  电容式传感器的测量电路  电容式传感器的应用 1 第3章电容式传感器 测量原理：将被测量的变化转换成电容量变化 § 3-1 电容式传感器的工作原理 用两块金属平板作电极可构成简单的电容器，当忽略 边缘效应时，其电容C为 S S   S C r 0 d d d ε S — 极板相对覆盖面积 ε — 真空介电常数 0 d — 两极板间距离 ε— 相对介电常数 r ε— 极板间介质的介电常数 2 第3章电容式传感器 S   S C r 0 d d 哪几个参量是变量？可以做成哪几种类型的电容传感器？ 改变S、d、 三个参量中的任意一个量，均可使平板电容 的电容量C 改变。 保持三个参量中的两个不变，改变另一个参数，可以做 成三种类型的电容传感器。 一、变面积（S）型 二、变介质介电常数（ε）型 三、变极板间距（d）型 3 第3章电容式传感器 一、变面积（S ）型电容式传感器  0时 S   S C r 0 0 d d 0时   S (1/ ) C r 0 角位移式电容传感器 d C (1/ ) 0 可见，电容C与角位移θ成线性关系。 4 第3章电容式传感器 直线位移式电容传感器 1－定极板 2 －动极板 当动极板移动距离x 时，面积S变化，电容量C也变化  