真空镀膜基本技术（培训）.ppt

真空技术 Vacuum Technique 真空与真空的量度 什么是真空 大气压强 如右图的装置 大气压强可由下式算出 真空度的单位 真空度是指处于真空状态下气体的稀薄程度 1969年，国际计量委员会建议，推广一种更合理单位叫“帕斯卡”(Pascal),简称“帕” 为了研究真空和实际应用方便，常把真空划分为粗真空、低真空、高真空和超高真空，甚至是有极高真空，最后的真空级别存在测量问题。随着真空度的提高，真空的性质将逐渐变化 一般认可的真空划分 粗真空 760~10托 物理特点：1气体分子间的碰撞 2粘滞流 主要真空规： U型压力计 主要真空泵：机械泵，各种粗真空泵 主要应用：真空浓缩、脱色、脱臭；真空成形；真空输运 在此真空区间，使用真空技术的主要目的是为了获得压力差，而不要改变空间的性质 低真空 压力范围：（10~10-3托） 物理特点：它是粗真空到高真空的过渡，气体分子之间碰撞为主向气体与器壁的碰撞为主过渡 主要真空规：麦氏计，热阻真空规 主要真空泵：机械泵 主要应用：真空蒸馏，真空干燥，冷冻干燥，真空浸渍 在此真空区间气体的流动从粘滞流过渡到分子状态，分子动力学性质明显，对流完全消失 高真空 压强范围（10-3~10-8托） 物理特点：1气体分子与器壁的碰撞为主 2分子流 主要真空规：B-A型热阴极电离规 冷阴极电离规 主要真空泵：扩散泵；涡轮分子泵 主要应用：各种真空冶金，热处理，真空电子束焊，半导体材料区域熔炼，电真空器件，原子能加速器，真空镀膜 在这种状态下，气体的热传导和内摩擦已与压强无关 超高真空 压强范围（10-8~10-12托） 物理特点：1气体分子在固体上吸附停留为主 2表面物理化学为决定无力本质的基本规律 主要真空规：各种改进型的热阻极电离规，磁控规 主要真空泵：加阱扩散泵;各种吸气剂离子泵 主要应用：各种真空冶金，热处理，真空电子束焊，真空镀膜，薄膜和表面物理，表面化学，热核反应和等离子体物理，超导技术，宇宙航行 在这种状态下，气体的热传导和内摩擦已与压强无关 极高真空 压强范围（〈10-12托）获得和测量存在问题 由于气体密度较小，统计涨落大于5% 主要真空规：冷或热阴极磁控规 主要真空泵：低温冷凝泵，扩散泵家生化阱 主要应用：宇宙航行 气体和蒸汽 通常我们把物质的临界温度作为判断气态物质是气体还是蒸汽的标准。 当物质高于临界温度是只能处于气态，不能压缩使其液化。我们把高于临界温度的气态物质称为气体。 低于临界温度的气态物质称为蒸汽 稀薄气体的基本性质 真空技术上所遇到的是稀薄气体，性质上与理想气体差异很小，可直接应用理想气体的状态方程 波义尔定律：一定质量的气体，在恒定温度下，气体的压强与体积的乘积为常数 查理定律：一定质量的气体，如果体积保持恒定，则气体的压强与绝对温度成正比 有上面三个定律可导出理想气体的状态方程 碰撞次数与余弦散射率 单位时间内，单位面积的器壁发生碰撞的气体分子数，用N表示 余弦定律的重要意义 固体表面对气体分子的作用，分子原有的方向性彻底消除，均按余弦定律散射 分子在固体表面上要停留一定的时间，实现能量交换和动量交换 真空