光谱共焦位移传感器综合样本-德国米铱.pdfVIP

米 铱 精益求精 confocalDT-光谱共焦式测量系统 2 光谱共焦式位移与厚度测量 confocalDT 无磨损固定透镜探头设计 最高分辨率达纳米等级 快速表面补光技术 测量速率可高达70kHz 70kHz 位移测量与厚度测量 极小的测量光斑 通过网页界面进行设置 新一代光谱共焦式测量系统 confocalDT采用了新一代的光谱共焦测量原理。该系统使用了目前世界上 反应速度最快的控制器，可以对距离，位移以及透明物体的厚度进行高精 度测量。拥有众多探头的选择，多种扩展接口以及基于网页浏览器的简化 操作，使confocalDT更加适合半导体生产、玻璃、医疗设备和塑料制品等 制造环节。 特征 confocalDT可以对漫反射或镜面反射物体进行高精度的距离和位移测量。 不仅如此，它还可以测量透明物体的厚度。基于网页浏览器的调试界面提 供了丰富的材料数据库，数据库还能够独立进行编辑与扩充。多达六个测 量峰值输出，可用于多层被测物体的厚度测量。 新型控制器拥有较高信噪比以适应高精度测量的需求。而快速表面补光技 术则有助于控制曝光时间，实现较高的信号稳定性。 系统设计 confocalDT测量系统由控制器和探头组成，它们由一根光纤连接。如果控 制器连接一个外部氙灯光源，可使测量频率达到高达70kHz 。控制器可通 过网页界面进行调试，操作简单。