毕业设计论文-智能化扩散硅压力传感变送器的研制.doc

本科毕业论文 题 目：智能化扩散硅压力传感 变送器的研制 院 （部）：信息与电气工程学院 专 业： 电气工程与自动化 班 级： 电本062 姓 名： 学 号： 指导教师： 完成日期： 2010年6月12日目 录 摘 要 III Abstract IV 1 前 言 1 1.1 压力传感器的国内外发展现状 1 1.2 压阻式压力传感器简介 2 1.2.1 压阻式压力传感器的结构 2 1.2.2 压阻式压力传感器的发展 2 1.2.3 扩散硅压力传感器的应用 3 1.2.4 扩散硅压力传感器的特点 4 1.3 扩散硅压力传感器的发展趋势 5 1.4 本课题所完成的任务 6 2 扩散硅压力传感变送器的原理 7 2.1 压阻式压力传感器的机械原理 7 2.2 压阻式压力传感器的工作原理 8 3 扩散硅压力传感器的温度补偿原理 9 3.1 对扩散硅压力传感器进行温度补偿的意义 9 3.2 零点温度漂移及其补偿 10 3.2.1 零点温度漂移产生的原因 10 3.2.2 零点温度漂移的补偿 10 3.3 灵敏度温度系数及其补偿 14 3.3.1 灵敏度漂移产生的原因 14 3.3.2 灵敏度漂移补偿措施 14 3.4 零位温度系数及其补偿 14 4 扩散硅压力变送器整体方案设计与计算 17 4.1电源电路 17 4.1.1 传感器供电电路 17 4.1.2 信号处理供电电路 20 4.2 信号处理电路 21 4.2.1 电路工作原理 22 4.2.2 滤波电路设计 24 4.2.3 调零和调满电路设计 25 4.3 电压电流转换 26 4.4 两线制输出 27 4.5 整机测量与误差分析 27 5 MPU最小系统及数据采集通信系统设计 33 5.1 系统硬件设计 33 5.2 系统软件设计 37 6 总 结 39 谢 辞 41 参考文献 42 附 录 43 摘 要 本文介绍了智能化扩散硅压力传感变送器的研制。智能压变送器的核心部件--压力传感器是利用单晶硅的压阻效应，在单晶硅膜片上扩散一个惠斯电桥。4～20mAIntelligent Diffused Silicon Pressure Sensor Transmitter Abstract This paper introduces the intelligent diffused silicon pressure sensor transmitter. The core components of intelligent pressure sensor transmitter --- the pressure sensor uses the piezoresistive effect of single crystal silicon (in one set of pressure-sensitive and conversion ), the silicon diaphragm strain on the proliferation of a Wheatstone bridge. Wheatstone bridge detects changes in resistance. After differential normalized amplifier, output amplifier, and then after the conversion of voltage and current,it converts into a corresponding current signal. The current signal changes into the standard 4～20mA output signal which has a linear corresponding relationship with the input voltage, through a nonlinear correction loop compensation. The output of the bridge there will be a corresponding change in the measured pressure signal output. Combination of low-power and high-performance single chip,it can realize the error compensation of measured parameters and the calibration of remote sensing system and data communi