az31镁合金表面磁控溅射氮化钛铝薄膜及其性能分析word格式论文.docxVIP

优秀毕业论文 精品参考文献资料 aluminum nitride thin film can effectively improve the magnesium alloy substrate hardness, reduce the magnesium alloy substrate roughness. The electrochemical detection and soaking experiments of Al-TiAlN, Ti-TiAlN, Zr-TiAlN composite films showed Zr-TiAlN composite film can protect the AZ31 magnesium alloys best, and Al-TiAlN composite film get the worst corrosion resistance. The cross cut tape test indicated that the adhesive strength between Zr-TiAlN, Ti-TiAlN composite film and magnesium alloy have reached one degree and the Al-TiAlN composite film has reached two degrees. Keywords: Magnetron Sputtering, Titanium Aluminum Nitride Film, AZ31 Magnesium Alloy, Corrosion Resistance 重庆大学硕士学位论文 目 录 目 录 中文摘要I 英文摘要 II 1 绪 论 1 1.1 引言 1 1.2 镁及镁合金 1 1.2.1 镁合金的性质及分类 1 1.2.2 镁合金的应用 2 1.3 镁合金的腐蚀及防护 3 1.3.1 镁合金的腐蚀类型 3 1.3.2 镁合金腐蚀的影响因素 4 1.3.3 镁合金的腐蚀机理 5 1.3.4 镁合金的表面防护 6 1.4 物理气相沉积技术及研究进展 8 1.4.1 物理气相沉积技术 8 1.4.2 溅射镀膜原理 10 1.4.3 镁合金表面 PVD 膜层的研究现状 13 1.5 氮化钛铝 18 1.5.1 氮化钛铝的特性与应用 18 1.5.2 氮化钛铝的研究现状 19 1.6 课题研究的目的与意义 21 2 实验方法及测试手段 22 2.1 仪器及原材料 22 2.2 氮化钛铝硬质薄膜的制备 23 2.2.1 镁合金表面预处理 23 2.2.2 氮化钛铝薄膜的制备 23 2.3 薄膜性能的测试 25 2.3.1 电化学检测 25 2.3.2 表面形貌检测 26 2.3.3 微观结构分析 26 2.3.4 表面组成分析 27 2.3.5 薄膜厚度、表面粗糙度及硬度检测 28  3 氮化钛铝薄膜的制备及性能研究 30 3.1 实验方案 30 3.2 制备工艺参数对薄膜性能的影响 31 3.2.1 铝靶功率对氮化钛铝薄膜耐腐蚀性能的影响 31 3.2.2 钛靶功率对氮化钛铝薄膜耐腐蚀性能的影响 32 3.2.3 氮气流量对氮化钛铝薄膜耐腐蚀性能的影响 33 3.2.4 溅射时间对氮化钛铝薄膜耐腐蚀性能的影响 34 3.3 氮化钛铝薄膜的表征 36 3.3.1 氮化钛铝薄膜微观结构分析 36 3.3.2 氮化钛铝薄膜的表面成分分析 37 3.3.3 氮化钛铝薄膜的表面形貌分析 39 3.3.4 氮化钛铝薄膜的力学性能分析 40 3.4 氮化钛铝薄膜的耐腐蚀性能分析 41 3.4.1 氮化钛铝薄膜的极化曲线分析 41 3.4.2 氮化钛铝镀膜样品的交流阻抗谱 43  HYPERLINK \l _TOC_250001 4（Al、Zr、Ti）-TiAlN 复合膜保护性研究 45 4.1 复合膜层的设计 45  HYPERLINK \l _TOC_250000 4.2 （Al、Zr、Ti）-TiAlN 复合膜的耐腐蚀性能分析 45 4.3 膜基附着力 48 5 结 论 51 5.1 主要结论 51 5.2 创新点 51 5.3 展望 52 致 谢 54 参考文献 55 附 录 60 作者在攻读学位期间发表的论文目录 60 重庆大学硕士学位论文 1 绪 论  PAGE 52 1 绪 论 1.1 引言 “腐蚀”一词来自拉丁语“corrodere”，意为“腐蚀掉”。最常见的腐蚀是铁和钢的 生