新一代热式质量流量计.pdfVIP

, 新一代热式质量流量计 The New Generation of Thermal Ma ss Flowmeter 陈洪祥( 上海工业自动化仪表研究所, 上海 200233) 张家正(株式会社山武, 日本国 ) 孙永华( 上海创申自控仪表有限公司, 上海 200042) : 技术形成灵敏度高, 响应速度快的热式流量传感器。 Key words: Thermai mass flowmeter Mass flow transducer 其结构如图1 所示。在硅片表面有一层绝缘膜, 在绝 Silicon 缘层下用很薄的铂膜生成加热器h 、上游温度传感器 介绍了 硅片为基础, 采用微机械加工技术与薄膜技 u 、下游温度传感器d 以及环境温度传感器r 。铂膜的 术制成的热式质量流量传感器的结构、工作原理及其主要技术 电阻值随着温度的变化而发生变化, 因此它具有测温 特点, 同时还介绍了 该传感器为核心部件组成的质量流量计 与控制器的特点与应用示例。 热电阻(RTD) 的特性。 Abstract The structure, operational principle and main specification of the thermal mass transducer are introduced. The transducer is based on silicon, and fabricatedby micromachinery and thin filmtechnologies. In addition, the mass flowmeter composed of this transducer as ernel com2 ponent and the features of controller as well as the practical example of application are presented. 通常流量测量有体积与质量计量两种方式。体积 流量计量往往 温度、压力等工况的变化而影响计量 图1 传感器结构示意图 精确度。因此, 要求精确计量的场合必须采用质量流 加热器h 在硅基片的中心, 上游温度传感器u 与 量计量。质量流量计可分为推导式质量流量计与直接 下游温度传感器d 在其两边, 而环境温度传感器r 设 式质量流量计两种。前者是在体积计量的基础上进行 置在外围。将处在硅基片中央位置的加热器h 与上、 密度补偿或者进行温度、压力补偿, 并通过运算推导出 下游温度传感器(u, d) 的下面部分的硅用各向异性蚀 质量流量。后者是基于传感器测量原理消除温度、压 刻法除去, 并且与硅基片形成热隔离的隔膜。 力等的影响, 从而直接获得质量流量, 如科里奥利 1. 2 (Coriolis)质量流量计、热式质量流量计等。前者适用 当无流体流动时, 加热器h 两侧的温度分布是对称 于多种液体的质量流量计量, 后者则适用于各种气体 的, 上游温度传感器u 与下游温度传感器d 的温度相等 的微小流量的质量计量。 (见图2a) ,其温度分布曲线也呈对称型(见图3a) 。 热式质量流量计又称量热流量计