MAU 电气基础.ppt

以客為尊的全方位科技服務領導者 廠務各系統簡介 – 潔淨室 潔淨室架構 MAU OVERVIEW 温湿度曲线图 暖通空調元件 – 盤管 (Coil) 外觀 前視圖 俯視圖 側視圖 廠務各系統簡介 – 製程排氣 製程排氣系統功能 生產過程中有害物質如：粉塵粒子/熱氣/水氣/化學物質/有害氣體/異味…等氣狀污染源之去除，以維護生產安全及舒適作業環境 控制污染及環境維護 主要分類 一般排氣(GEX) ?排氣風機+無處理設備 酸性排氣(SEX) ?排氣風機+填充式洗滌塔 鹼性排氣(AEX) ?排氣風機+填充式洗滌塔 溶劑排氣(VOC) ?排氣風機+活性碳或沸石轉輪 粉塵排氣 ?排氣風機+集塵塔或洗滌塔 廠務各系統簡介 – 製程排氣 排氣風機 填充式洗滌塔 酸鹼排氣系統架構 廠務各系統簡介 – 製程排氣 排氣風機 活性碳吸附塔 有機排氣系統架構 廠務各系統簡介 – PCW / PV / HV PCW系統 PCW：Process Cooling Water / 製程冷卻水 功能：移除製程機台運轉所產生的熱能 PV系統 PV：Process Vacuum / 製程真空 功能：產品吸附搬移用，或於機台內部產生一真空氣室，作為製程反應用的空間 HV系統 HV：House Cleaning Vacuum / 清潔真空 功能：中央掃除集塵用 全水系統架構範例一 壓縮機 冷煤 室外空氣 風扇 外氣 冷卻水塔 冷卻水 冷卻水泵 室內空氣 風扇 排氣 外氣 空調 負載 冷凝器 空調盤管 冰水泵 冰水 蒸發器 冷凍機房 空調室內 戶外 暖通空調系統 – 空氣循環系統 廠務各系統簡介 – PCW / PV / HV TANK PUMP HEX FILTER Chilled Water Process Tool 高 水溫 低 PCW系統架構 廠務各系統簡介 – PCW / PV / HV PV系統架構 真空幫浦 緩衝桶 分佈管路 真空筆 廠務各系統簡介 – PCW / PV / HV HV系統架構 Inlet valve Pipe routing Vacuum pump filter Hose tool 廠務各系統簡介 – 儀控 儀控系統功能 掌握各項廠務供應系統運轉與品質狀況 記錄各項廠務供應系統運轉與品質狀況 提供即時的異常警報或預警功能 提供廠務供應系統自動調節的功能，以維持恆定的供給條件 遠端起動/停止廠務設備運轉 主要組成 人機介面：SCADA PC、Touch Panel…… 控制器：DCS、PLC、DDC、SLC…… 儀錶：Switch、Transmitter、Control Valve、Control Damper…… 廠務各系統簡介 – 儀控 廠務儀控系統架構