ELID磨削技术在硬脆材料精密超精密加工中的应用.pdfVIP

第27卷 第4期 北 京 工 业 学 学 报 V ．27 No4 2001年 12月 JOURNAL OF BELTING POLY1]BCHNIC L ⅡVERSnY Dec 2001 ELID磨削技术在硬脆材料精密超精密 Jjn-r中的应用 关佳亮，范晋伟，马春敏 (北京工业大学 机械工程与应用电子技术学院，北京 100022) 摘 要：舟绍了ELID磨削技术的基本原理，分析了ELID技术磨削硬臆材料的加工机理，并应用该技术对硬质 舍垒、工程陶瓷和光学玻璃等典型硬脆材料实现了超精密镜面加工．磨后工件达到 凡为O．003~0．018的镜面． 关键词：ELID磨制；硬脆材料；加工机理；超精密镜面加工 中田分类号：11t1611 文棘标识码：A 文章编号 0254—0037(2001)04—0486—03 随着硬质合金、工程陶瓷、光学玻璃、淬火钢及半导体等硬脆难加工材料 日益广泛的应用，磨削加工在 整个机械加工领域的地位 日趋重要．但是，由于材料的高强度、高硬度和高脆性，采用传统磨削工艺不仅 磨削力大，磨削温度高、磨削效率低，而且砂轮极易钝化、堵塞丧失切削性能，从而造成加工面脆性破坏，加 工质量恶化，难 以满足高精度、高效率的加工要求．EL／E)磨削技术能够在线电解修整金属基超硬磨料砂 轮，始终保持磨粒在磨削过程 中的锋利状态，防止砂轮钝化和堵塞，特别适合硬脆材料的加工．本文探讨 了ELID磨削技术的基本原理及其在硬脆材料的精密超精密加工领域中的应用 “． 1 ELID超精密镜面磨削技术基本原理 以平面磨削为例 ，ELID超精密镜面磨 削原理如图 1所示 ．金属结合剂超硬磨料砂轮与直流脉冲电源 正极相接做阳极，工具电极做阴极，在砂轮外表面和电极的间隙中 通过 电解磨削液 利用电解过程中的阳极溶解效应，砂轮表层的 金属基体被电解去除，露出崭新锋利的磨粒，同时形成一层氧化膜 覆着于砂轮表面，抑制砂轮过度电解，从而使砂轮始终以最佳磨削 状态连续进行磨削加工．所 以，该技术将砂轮修整与磨削过程结 合在一起，在利用金属基砂轮进行磨 削加工的同时，利用电解方法 对砂轮进行修整，从而实现对硬脆材料的超精密镜面磨削”． 圉1 ELD磨削原理示意囤 2 ELID磨削技术磨削硬脆材料的加工机理 ELI[)磨削去除材料的机理与其他镜面加工有所不同．通常的镜面加工是通过磨削、研磨和抛光来获 得的．研磨和抛光工艺去除材料的方式是：以柔性的研磨盘把磨料压在材料表面并使其产生相对运动，磨 料借助研磨盘的压力以流动的方式使材料得以破碎，以滑动和流动两种方式去除破碎后的材料．磨料在 滚动破碎过程 中所造成的破碎 区比磨粒尺寸要大得多． 在EL1D精密镜面磨削中，一方面由于磨粒固着在结合剂中，对于单颗粒的固着磨粒而言，在磨削中 收稿 日期：2000．12．27． 作者简开：关佳亮 (1％4-)，男，耐教授，博士 第4期 关佳亮等：ELID,~削技术 硬脆材料精密超精密加上中的应用 487 其有效磨削尺寸只有磨粒R j·的 l，3．磨粒主要以微切削的方式去除材料．所 这种磨削方式下磨粒造成 的破碎 区要小得多；另一方面，砂轮表面电解牛戚 的氧化膜具有 一定的弹性和厚度，其 中容纳和承托着一 定数量因电解而脱落的磨料．随着磨削的进行，氯化膜变薄或被刮除，同时在线电解砂轮又会有新氧化膜 不断生成，使氧化膜在磨 削_【卜始终保持一定的 度 ．磨 削中脱 落下来的磨料夹杂在氧化膜-[J-使氧化膜成勾一种含有徽细磨 料具有 良好柔性 的研抛膜 ．精磨时．由于进给 识小蘸至 进 脱落磨粒 给．砂轮上覆盖的氧化膜的厚度远大f磨料的出 高度．使砂轮 基体表层磨料在磨削中 能直接 与1一件接触．砂轮 覆盖的这 层绝缘氧化膜将代替金属基砂轮参与真正的磨 过程 当电解 作用完全抑制 时，氧化膜对工件进行光磨 ．所 ELID磨削实 图2 ELID~ 0击除硬脆材料机理 意图