电子束技术在冶金法提纯多晶硅中的应用-谭毅1.pdfVIP

2011年第七届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 电子束技术在冶金法提纯 多晶硅中的应用 谭 毅 大连理工大学 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 2011年7月4 日 研究背景 光伏发电量 机遇 光 伏 产 业 挑战 严重 发展 太阳能多晶硅 短缺 迅速 生产成本低 新 工 艺 硅料来源广泛 冶 金 法 硅料纯度 环境污 要求低 染减小 工艺 生产周 简化 期变短 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 研究背景 等等 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 电子束熔炼基本原理 电子束熔炼原理： 将电子枪中的灯丝加热到一定温度，灯丝表面发射电子，电子 在负高压作用下加速，轰击阴极表面使阴极而发射电子，电子 在高压静电场中加速，之后经过磁透镜聚焦形成能量密度极高 的电子束流，通过偏转扫描作用以特定的轨迹轰击到水冷铜坩 埚中的材料表面，电子的动能大部分转化为热能，产生极高的 热量，使材料熔化。 电子束熔炼的优点：  熔炼过程几乎不受温度限制，可以任意调节温度；  大功率连续生产时电子束熔炼成本较低；  电子束熔炼能量密度高，集热迅速；  电子束熔炼时采用冷坩埚，避免了坩埚造成的污染。 电子束熔炼示意图 辽宁省太阳能光伏系统重点实验室 电子束熔炼设备 设备组成：  炉体  电子枪和电源  真空系统  水冷坩埚系统  控制、观察系统等 设备特点：  熔炼过程中功率、波形、熔炼时间可以调节，有利于去除挥发性杂质元素；  真空度达10-4Pa ，避免环境对材料的污染； -7 3 2  电子束熔炼能量密度大，熔炼光点直径为10 cm，能量密度达10 W/ cm 。  熔炼温度高，可提纯难熔金属。 辽宁省太阳能光伏系统