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显微镜使用作业工艺书

RAKEN 生产部 作业工艺书 工 程 名 作业区分 页数 : 1/1 制定日 : 08/12/01 修订编号: 0 修订日 : 管理编号 作业Process及内容 周期 担当 管理项目 题 目 修理工程 测定分析作业 显微镜使用方法(导电球压痕确认) 经办 课长 部门主管 修订No. 修订内容 适用日 修订履历 特殊事项 修订日 1.作业前应戴好内、外手套; 2.原副资材更换时, 注意操作,以免与设备突出部冲突而发生事故; 3.作业中或作业后产生的废弃物进行彻底分离回收; 4.使用刀刃时, 应注意以免受伤,使用各种药品(如MEK/IPA)时,避免掉落在桌面和地面; 5.周边不应保管不必要的物质如有毒物、引火物; 6.发生异常情况时,通知组长/工程师采取措施。 RAKEN (Suzhou) Co., Ltd 压痕确认: 电源打开 Ver打开 A.B.C按钮动作 调整清晰度 压痕确认 参照Sample判定 Panel反放 打开反射光,旋动Ver按钮以调节亮度,关掉透射光Tr 打开MAIN POWER电源,通过UP和DOWM 按钮来调节显微镜焦距(粗调 ) ① MAIN POWER ② ③ 按钮A拨到BF边,按钮B和C都拨到里面 导电球清晰度调整旋钮B 导电球颜色调整旋钮C ④ Bonding状态效果图(导电球spec:5ea/pad) 反射光旋钮Ver 透射光旋钮Tr UP按钮 DOWM按钮 调节焦点转向盘以调整图象的清晰度(微调) A B C BF 精密检查 分析 测定 分析 RAKEN 生产部 作业工艺书 工 程 名 作业区分 页数 : 1/1 制定日 : 08/12/01 修订编号: 0 修订日 : 管理编号 作业Process及内容 周期 担当 管理项目 题 目 修理工程 测定分析作业 显微镜使用方法(OA确认) 经办 课长 部门主管 修订No. 修订内容 适用日 修订履历 特殊事项 修订日 1.作业前应戴好内、外手套; 2.原副资材更换时, 注意操作,以免与设备突出部冲突而发生事故; 3.作业中或作业后产生的废弃物进行彻底分离回收; 4.使用刀刃时, 应注意以免受伤,使用各种药品(如MEK/IPA)时,避免掉落在桌面和地面; 5.周边不应保管不必要的物质如有毒物、引火物; 6.发生异常情况时,通知组长/工程师采取措施。 RAKEN (Suzhou) Co., Ltd O/A确认: 电源打开 Tr打开 A.B.C按钮动作 调整清晰度 O/A确认 参照Sample判定 Panel正放 打开透射光,旋动Tr按钮以调节亮度,关掉反射光 ② ④ 绿色边缘(S/R边缘)与ACF边缘相交即为OK 打开MAIN POWER电源,通过UP和DOWM 按钮来调节显微镜焦距(粗调 ) ① MAIN POWER UP按钮 DOWM按钮 反射光旋钮Ver 透射光旋钮Tr 调节焦点转向盘以调整图象的清晰度(微调) 按钮A拨到BF边,按钮B和C都拨到里面 A B ③ C S/R边缘 ACF边缘 BF 精密检查 分析 测定 分析 RAKEN 生产部 作业工艺书 工 程 名 作业区分 页数 : 1/1 制定日 : 08/12/01 修订编号: 0 修订日 : 管理编号 作业Process及内容 周期 担当 管理项目 题 目 修理工程 测定分析作业 显微镜使用方法(导电球聚集确认) 经办 课长 部门主管 修订No. 修订内容 适用日 修订履历 特殊事项 修订日 1.作业前应戴好内、外手套; 2.原副资材更换时, 注意操作,以免与设备突出部冲突而发生事故; 3.作业中或作业后产生的废弃物进行彻底分离回收; 4.使用刀刃时, 应注意以免受伤,使用各种药品(如MEK/IPA)时,避免掉落在桌面和地面; 5.周边不应保管不必要的物质如有毒物、引火物; 6.发生异常情况时,通知组长/工程师采取措施。 RAKEN (Suzhou) Co., Ltd 精密检查 分析 测定 分析 ② ③ 按钮A拨到DF边,按钮B和C都拨到外面 A B C ④ 观察导电球凝聚现象是否发生(亮点堆积在一起判定为导电球积聚) DF 打开MAIN POWER电源,通过UP和DOWM 按钮来调节显微镜焦距(粗调 ) ① MAIN POWER UP按钮 DOWM按钮 打开反射光,旋动Ver按钮以调节亮度,关掉透射光Tr 反射光旋钮Ver 透射光旋钮Tr 调节焦点转向盘以调整图象的清晰度(微调) 导电球积聚确认: 电源打开 Ver打开 A.B.C按钮动作 调整清晰度 导电球积聚确认 参照Sample判定 Panel反放 RAKEN 生产部 作业工艺书 工 程 名 作业区分 页数 : 1/1 制定日 :

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