两相行波超声波电机的转速和位置伺服控制.pdfVIP

2010 43 9 王海彦, 史敬灼 ( , 471003) : , , P ID , P ID , , : ; ; : TM 35919; TP 275 : A : 10012 6848( 2010)092 0062204 Sp eed an d P osition Ser vo C on trol of T r avelin g W ave U ltra son icM otor WANG H ai2yan, SH I Jing2zhuo (H enan University of Science and Technology, L oyang 471003, China) Ab str act: A compoun spee