表面分析技术-授课内容.ppt

纳米In2O3粉 材料表面分析技术：5-图片 低碳钢表面火焰法沉积纳米碳材料 材料表面分析技术：5-图片 低碳钢表面火焰法沉积纳米碳材料 材料表面分析技术：5-图片 低碳钢表面火焰法沉积纳米碳材料 材料表面分析技术：5-图片 等离子体高温(930?C)脱碳处理后硬质合金表面形貌 化学酸蚀脱钴20min、YG16硬质合金表面 材料表面分析技术：5-图片 等离子体改性复合处理后YG16硬质合金表面 抛光、脱钴20min、800?C脱碳30min、720?C渗碳60min 纳米Co粒子 材料表面分析技术：5-图片 5、配合扫描隧道谱，可以得到有关表面结构的信息，例如表面不同层次的态密度、表面电子阱、电荷密度波、表面势垒的变化和能隙结构等。 6、在技术本身，SPM具有设备相对简单、体积小、价格便宜、对安装环境要求较低、对样品无特殊要求、制样容易、检测快捷、操作简便等特点，同时SPM的日常维护和运行费用也十分低廉。 材料表面分析技术：2-形貌分析 显微镜技术的各项性能指标比较 分辨率 工作环境样品环境 温度 对样品破坏程度 检测深度 扫描探针显微镜 原子级(0.1nm) 实环境、大气、溶液、真空 室温或低温 无 100μm量级 透射电镜 点分辨(0.3~0.5nm) 晶格分辨(0.1~0.2nm) 高真空 室温 小 接近SEM,但实际上为样品厚度所限，一般小于100nm. 扫描电镜 6~10nm 高真空 室温 小 10mm (10倍时)1μm (10000倍时) 场离子显微镜 原子级 超高真空 30~80K 有 原子厚度 材料表面分析技术：2-形貌分析 扫描探针显微镜的其它应用 微米/纳米结构表征，粗糙度，摩擦力，高度分布，自相关评估，软性材料的弹性和硬度测试 高分辨定量结构分析以及掺杂浓度的分布等各种材料特性 失效分析: 缺陷识别，电性测量（甚至可穿过钝化层）和键合电极的摩擦特性 材料表面分析技术：2-形貌分析 生物应用: 液体中完整活细胞成象，细胞膜孔隙率和结构表征，生物纤维测量，DNA成像和局部弹性测量 硬盘检查: 表面检查和缺陷鉴定，磁畴成象，摩擦力和磨损方式，读写头表征 薄膜表征: 孔隙率分析，覆盖率，附着力，磨损特性，纳米颗粒和岛屿的分布 材料表面分析技术：2-形貌分析 扫描探针显微镜(SPM) ???????????????????????????????????????????????????????????????????????????????? ??????????????????????? 本原SPM 材料表面分析技术：2-形貌分析 三、结构分析 物相分析 利用衍射分析的方法探测晶格类型和晶胞常数，确定物质的相结构。 主要的物相分析的手段有三种：X射线衍射(XRD)、电子衍射(ED)及中子衍射(ND)。 其共同的原理是：利用电磁波或运动电子束、中子束等与材料内部规则排列的原子作用产生相干散射，获得材料内部原子排列的信息，从而重组出物质的结构。 材料表面分析技术：3-结构分析 X射线衍射仪 单晶XRD 转靶、陶瓷管：Cu Mo 双晶XRD 多晶粉末XRD 转靶、陶瓷管： Cu Co Fe 织构、高温、薄膜、微区、1-D/2-D阵列检测器 小角散射XRD 材料表面分析技术：3-结构分析 X射线衍射仪（XRD） 理学D/max 2000自动X射线仪 材料表面分析技术：3-结构分析 四、成分分析 成分和价态分析 大部分成分和价态分析手段都是基于同一个原理，即核外电子的能级分布反应了原子的特征信息。利用不同的入射波激发核外电子，使之发生层间跃迁、在此过程中产生元素的特征信息。 按照出射信号的不同，成分分析手段可以分为两类：X射线光谱和电子能谱，出射信号分别是X射线和电子。 材料表面分析技术：4-成分分析 X射线光谱包括：X射线荧光光谱(XRF)和电子探针X射线显微分析（EPMA）两种技术。 电子能谱包括：X射线光电子能谱(XPS)、俄歇电子能谱(AES)、电子能量损失谱(EELS)等分析手段。 材料表面分析技术：4-成分分析 材料的价键分析 材料性质不仅与元素、结构、价态等因素有关，还与其价键状态有关。 研究内容：化学键、分子结构、结合形式、吸附状态等。 分析内容：分子振动和转动、晶格振动和转动等。 研究方法：红外光谱、拉曼光谱和高分辨电子能量损失谱。 材料表面分析技术：4-成分分析 分子结构分析 利用电磁波与分子键和原子核的作用，获得分子结构信息。红外光谱（IR）、拉曼光谱（Raman）、荧光光谱（PL）等是利用电磁波与分子键作用时的吸收或发射效应，而核磁共振（NMR）则是利用原子核与电磁波的作用来获得分子结构信