霍尼韦尔Zephyr数字式气体质量流量传感器-霍尼韦尔传感与控制.PDF

霍尼韦尔 ZephyrTM 数字式气体质量流量传感器 : HAF 系列 - 高精度 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、 200 SLPM 或 300 SLPM 数据表 霍尼韦尔 ZephyrTM 数字式气体质量流量传感器 HAF 系列 - 高精度 霍尼韦尔 ZephyrTM 数字式气体质量流量传感器 HAF 系列 - 高精度 霍尼韦尔 ZephyrTM 数字式气体质量流量传感器：HAF 系列高精度型气体质量流量传感器在指定的满量程和补偿 温度范围内提供一个数字接口读取气体流量。它们的绝热加热器和温度感应元件有助于这些传感器对空气或其他 气流做出快速响应。 Zephyr 传感器旨在测量空气和其他无腐蚀性气体的质量流量。标准流量测量范围为 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，也可提供定制的流量范围。这些传感器利用电路板上 的专用集成电路 (ASIC) 进行全面的校准和温度补偿。 o o 10 SLPM 以上的 HAF 系列在 0 ℃到 50 ℃ [32 F 到 122 F] 的