微电子器件可靠性可靠性试验07 使用可靠性08幻灯片课件.ppt

第七章 可靠性试验;7.1 可靠性试验的分类及内涵;2. 试验方式和场所： 模拟试验（模拟现场环境或工作环境）单应力试验、复合应力试验 现场试验 现场存储试验、现场使用试验 3. 试验施加应力大小： 破坏性试验；非破坏性试验 4. 施加应力类型： 环境试验（气候环境、辐照环境试验）；机械试验；电磁试验; 7.1.2 各类可靠性试验简介 可靠性增长试验和失效分析试验 二者都是通过试验找出产品的失效机理 A. 可靠性增长试验：为暴露产品的可靠性薄弱环节，对产品施加特定的强应力，使其失效，依据失效机理确定产品的可靠性薄弱环节，实施改进措施；然后对改进后的产品施加新的应力，寻找新的薄弱环节；随着试验的不断进行，产品可靠性逐步增长。 B. 失效分析试验是在产品失效后进行的试验。目的是确定失效的原因。（使用不当造成？产品固有缺陷？偶然的、批次性的？）;老炼试验和筛选试验 二者均属于工序范畴。共同特点：产品100%进行 A.老炼试验目的是使产品的微结构进入稳定状态，以便使产品在工作状态下具有设计者赋予的稳定功能。一般加长时间的温度应力或电应力，或者两者兼之。 B. 筛选试验目的是剔除不合格和早期失效产品，使其处于浴盆曲线的早期失效期与偶然失效期的交界。; B组试验内容是与装配封装和芯片有关的试验。如抗溶性试验、可焊性试验、键合强度试验等。 C组是与芯片有关的试验。 D组是与封装有关的试验。 E组用于抗辐射强度。 c. 可靠性验收试验是用户接收产品前所做的验证产品的质量和可靠性是否符合合同要求的验证试验。（用户行为）;可靠性鉴定试验、可靠性定级试验和可靠性维持试验 A. 可靠性鉴定试验： 产品可靠性鉴定试验（考核产品是否达标了） 工艺（材料）可靠性鉴定试验（预定的可靠性要求） B. 可靠性定级试验：有些产品有可靠性指标，即失效率等级或平均无故障时间要求，为确定失效率等级所做的试验。 C. 为了证实产品已确定的失效率等级的时间有效性，按规定的周期要做可靠性维持试验。;7.2 环境试??、机械试验、电磁试验;温度循环试验 目的是考核产品承受一定温度变化速率的能力及对极端高温和极端低温环境的承受能力。试验条件：转换时间大于1min，高温或低温保持时间不小于10min，低温-55℃ ~-65℃，高温85~300℃ 热冲击试验 目的是考核产品承受温度剧烈变化，即承受大温度变化速率的能力。条件：转换时被测样品在5min内达到温度；在高温或低温状态下的停留时间要不小于2min;高低温条件为三档：A档为0~100℃ ；B档为-55~125℃ ；C档为-65~150℃;低气压试验 目的是考核产品对低气压工作环境（高空工作环境），气压减小：空气或绝缘材料绝缘材料强度减弱；散热条件变差。 25±10℃，密封室从常压降到规定气压再恢复到常压，所施加电压的频率为直流30MHz。 A档气压值是58kPa，对应海拔4572m；E档气压值是1.1kPa，对应海拔30480m。;耐湿试验 潮湿或炎热条件下抗衰变能力 腐蚀、水气 潮热试验：交变潮热试验和恒定潮热试验 交变潮热试验：样品置于相对湿度90%~100%范围内，用一定时间（一般2.5h）使温度从25℃上升到65℃ ，保持3h，然后再在相对湿度80%~100%范围内用一定时间（一般2.5h）使温度从65℃下降到25℃ 。 再进行一次这样的循环后在任意湿度下温度降到-10℃，保持3h，恢复到25℃温度，相对湿度 ≥ 80%状态。这就完成一次交变潮热的大循环，需要24h。;盐雾试验 目的是以加速的方法评定元器件外露部分在盐雾、潮湿和炎热条件下抗腐蚀能力 试验温度35±3 ℃，在24h内盐淀积速率2*104mg/m2~ 5*104mg/m2，时间分四挡： 24h、48h、96h、240h;辐照试验 目的是考核微电路在高能粒子辐照环境下的工作能力。电子辐照、 γ射线辐照; 寿命试验 目的是考核产品在规定条件下，在全过程工作时间内的质量和可靠性。 稳态寿命试验：样品施加适当的电源，处于正常的工作状态。125℃ 、1000h（可以提高温度而缩短时间） 间歇寿命试验：以一定的频率对被试微电路切断或突然施加偏压和信号 模拟寿命试验：是一种模拟微电路应用环境的组合试验。组合应力有机械